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潽拓萊寶分子泵代理商分子泵工作原理

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發(fā)布時間:2020-12-03 10:18  






我司從事機電自動化,光電存儲媒體,半導(dǎo)體,醫(yī)liao,太陽能電池板,玻璃鍍膜,科學(xué)研究所等真空鍍膜設(shè)備維修,銷售,設(shè)計,開發(fā)及系統(tǒng)工程,軟件開發(fā),leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等一線品牌分子泵,真空泵,真空計專業(yè)維修保養(yǎng)/銷售等業(yè)務(wù)。TURBOVAC泵非常成功地應(yīng)用于質(zhì)譜分析應(yīng)用、氣體和液體色譜分析、CD、DVD和硬盤生產(chǎn)、大表面光學(xué)層制造和非腐蝕性半導(dǎo)體工藝。

廣州潽拓光電——出售萊寶LEYBOLD渦輪增壓真空分子泵TURBO.DRIVE TD400Q驅(qū)動電源模塊

萊寶LEYBOLD渦輪增壓真空分子泵TURBO.DRIVE TD400Q驅(qū)動電源模塊

萊寶Oerlikon lerbold Vacuum TURBOVAC TW290/20/20 UHV 渦輪增壓真空分子泵 URBO.DRIVE TD400Q驅(qū)動電源模塊

leybold TW290/20/20 UHV 是德國萊寶為質(zhì)譜儀專門設(shè)計的一款分流泵,不同于leybold TW220/15,leybold TW220/15速為能

同時抽取兩個腔體的真空,對應(yīng)的流量為220L/s,150L/s,leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump能同時出去三個腔體的真空,

leybold TW290/20/20 UHV Turbo Pump對應(yīng)的三個腔體的真空流量分貝為290L/min,20L/min,20L/min

Oerlikon lerbold Vacuum TURBOVAC TW290/20/20 UHV 800160v0021 in 17V ac 5A 1000Hz

Out 60000min-1,Made in Germany,Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump 對應(yīng)的轉(zhuǎn)速為60000轉(zhuǎn)/分鐘

leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump

leybold Tw220-150S對應(yīng)的控制器為leybold TDS,leybold TDS300或leybold TD400



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廣州潽拓光電——專業(yè)維修Leybold Turbovac 35LS真空泵

德國LEYBOLD萊寶真空泵在使用過程中常見的一些問題:

1.真空度降低 (密封件老化,排氣閥開裂或脫落)

2.噴油

(油太多或擋油板脫落)

3.漏油 (油封磨損、O型圈、密封墊損壞)

4.起動困難 (油泵磨損或皮帶偏松)

5.停泵時系統(tǒng)出現(xiàn)空氣 (密封閥損壞

LEYBOLD萊寶產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域:

研發(fā),

分析儀器,

信息產(chǎn)業(yè),

太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、

電工行業(yè)、

真空鍍膜、

熱處理及冶金行業(yè)、

食品加工及包裝行業(yè),

制冷及照明行業(yè)等


廣州潽拓光電科技有限公司從事高真空設(shè)備研制、生產(chǎn)、銷售、工程安裝及售后維修服務(wù)于一體的綜合性企業(yè),由從事多年真空系統(tǒng)開發(fā),真空設(shè)備技術(shù)研發(fā),維修工程師,工程師組成的一支技術(shù)實力雄厚,充滿活力的高素質(zhì)團隊。

廣州潽拓光電——磁懸浮分子泵的振動抑制

  2000 L 磁懸浮分子泵研制中,遇到復(fù)雜振動問題:轉(zhuǎn)子彎曲模態(tài)共振; 陀螺效應(yīng)造成動力學(xué)失穩(wěn); 葉輪葉片導(dǎo)致轉(zhuǎn)子顫振; 成因復(fù)雜的機電耦合模態(tài)振動。它們同時出現(xiàn),嚴重影響轉(zhuǎn)子穩(wěn)定性,給振動抑制帶來困難,需進行精細的控制器設(shè)計??刂破髦?,對不同振動采用不同方法抑制:陀螺效應(yīng)依靠交叉反饋控制; 彎曲共振、分子泵葉輪葉片顫振及機電耦合模態(tài)振動,依靠各種不同的控制器傳遞函數(shù)相位方法。這些振動問題由各種因素所導(dǎo)致,包括泵轉(zhuǎn)子的彎曲模態(tài)振動,陀螺效應(yīng)造成的轉(zhuǎn)子動力學(xué)失穩(wěn),泵葉輪上葉片的顫振及一個由轉(zhuǎn)子與分子泵永磁電機共同導(dǎo)致的復(fù)雜振動模態(tài)。試驗驗證了方法的有效性,分子泵平穩(wěn)升速到24000 r/ min,樣機達到了設(shè)計真空性能指標。

  在分子泵轉(zhuǎn)子設(shè)計中,轉(zhuǎn)子一階彎曲模態(tài)頻率已經(jīng)盡量保持遠離轉(zhuǎn)子da工作轉(zhuǎn)動頻率即400 Hz,但其對轉(zhuǎn)子振動的影響依然不能忽略,尤其在高速運行時,陀螺效應(yīng)造成一階彎曲振動反向渦動模態(tài)頻率下降明顯。通常認為傳統(tǒng)軸承支承的轉(zhuǎn)子,反向渦動很難被激發(fā),但對電磁軸承轉(zhuǎn)子系統(tǒng),經(jīng)??捎^察到反向渦動被激發(fā)出來。因此,在轉(zhuǎn)子工作于整個轉(zhuǎn)速范圍內(nèi)時,均應(yīng)為彎曲模態(tài)振動提供足夠阻尼,避免一階彎曲正向或反向渦動被激發(fā)。特點:抽速大、無油、啟動快、無油污染、維護簡單工作范圍:清潔的低真空~中、高真空,大氣~超高真空極限真空:10-6/10-10torr缺點:結(jié)構(gòu)復(fù)雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高。事實上,如果電磁軸承振動控制不考慮彎曲模態(tài)的阻尼,轉(zhuǎn)子靜態(tài)懸浮時就會把轉(zhuǎn)子彎曲振動激發(fā)出來。


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德國萊寶LEYBOLD T1600分子泵維修,萊寶T1600分子泵保養(yǎng)

廣州潽拓光電——

      Leybold T1600德國萊寶渦輪分子泵的優(yōu)勢,節(jié)省空間,適合復(fù)雜的真空系統(tǒng),高生產(chǎn)率,Leybold T1600德國萊寶分子泵進氣法蘭口200 ISO-F,出氣法蘭口40 ISO-KF /63 ISO-K,抽速可達到1100 L/s,轉(zhuǎn)速為30000rpm,自帶集成控制器和電源。廣州潽拓光電——VARIAN分子泵Turbo-V的詳細描述:VARIAN分子泵一體化轉(zhuǎn)子瓦里安的專業(yè)切割工具以及EDM工藝,結(jié)和完善的CAD/CAM制造手段,可將一塊高科技含量的鋁合金原材料加工成為整體型轉(zhuǎn)子。

Leybold萊寶 T1600渦輪分子泵維修|


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