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中頻磁控濺射鍍膜設(shè)備有哪些特點
中頻磁控鍍膜設(shè)備濺射技術(shù)已漸成為濺射鍍膜的主流技術(shù),它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜。中頻磁控鍍膜設(shè)備濺射技術(shù)已漸成為濺射鍍膜的主流技術(shù),它優(yōu)于直流磁控濺射鍍膜的特點是克服了陽極消失現(xiàn)象;減弱或消除靶的異?;」夥烹?。因此,提高了濺射過程的工藝穩(wěn)定性,同時,提高了介質(zhì)膜的沉積速率數(shù)倍。
新研發(fā)平面靶,圓柱靶,孿生靶,對靶等多種形式的中頻濺射靶結(jié)構(gòu)和布局。該類設(shè)備廣泛應(yīng)用于表殼、表帶、手機殼、高爾夫球具、五金、餐具等鍍TiN、TiC、TICN、TiAIN、CrN等各種裝飾鍍層。
真空磁控濺射鍍膜機用戶設(shè)置具體設(shè)置
按“用戶設(shè)置”鈕進入真空磁控濺射鍍膜機的用戶設(shè)置界面,里面的數(shù)值除了時間參數(shù)可以根據(jù)機器運行情況作適當(dāng)調(diào)整外,其余參數(shù)經(jīng)調(diào)試設(shè)定后一般不作修改。各參數(shù)功能如下:
主輥加速時間設(shè)定:用于設(shè)定主輥從低速度0m/min加速至高速度400m/min的所需時間。單位:5秒。當(dāng)輸入數(shù)值為4時,加速時間是20秒。
主輥減速時間設(shè)定:用于設(shè)定主輥從高速度400m/min減速至低速度0m/min的所需時間。單位:5秒。
收卷張力零速保持:用于設(shè)定零速張力保持時,收卷的力矩輸出值。
放卷張力零速保持:用于設(shè)定零速張力保持時,放卷的力矩輸出值。
編碼器輥直徑輸入:此數(shù)值為編碼器輥直徑的實際測量值。此數(shù)值必須正確無誤,以確保設(shè)備運行過程的穩(wěn)定性。
放卷初徑誤差值正設(shè)定:用于設(shè)定卷繞系統(tǒng)啟動運行時,“放卷初始卷徑輸入”值允許高于實際測量值的誤差值。
放卷初徑誤差值負設(shè)定:用于設(shè)定卷繞系統(tǒng)啟動運行時,“放卷初始卷徑輸入”值允許低于實際測量值的誤差值。
擺輥動作時間設(shè)定:用于設(shè)定擺臂在自動控制模式時,擺輥電眼檢測到信號后擺臂自動往外退的動作時間。
真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法
真空電鍍設(shè)備的監(jiān)控方法 1、目視監(jiān)控:使用眼睛監(jiān)控,因為薄膜在生長的過程中,由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準(zhǔn)確,需要依靠經(jīng)驗。 2、極值監(jiān)控法:當(dāng)膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化,當(dāng)反射率或穿透率走到極值點的時候,就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(入)的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大,因為當(dāng)反射率或者透過率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。 3.定值監(jiān)控法:此方法利用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位,然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點。