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脈沖激光沉積的優(yōu)點(diǎn)
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1. 易獲得期望化學(xué)計(jì)量比的多組分薄膜,即具有良好的保成分性;
2. 沉積速率高,試驗(yàn)周期短,襯底溫度要求低,制備的薄膜均勻;
3. 工藝參數(shù)任意調(diào)節(jié),對(duì)靶材的種類(lèi)沒(méi)有限制;
4. 發(fā)展?jié)摿薮螅哂袠O大的兼容性;
5. 便于清潔處理,可以制備多種薄膜材料。
常規(guī)沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):
可根據(jù)客戶(hù)需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專(zhuān)業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過(guò)程無(wú)需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性?xún)r(jià)比高;
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)脈沖激光沉積感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線(xiàn)客服,或撥打咨詢(xún)電話(huà)。
脈沖激光沉積簡(jiǎn)介
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專(zhuān)業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。
【設(shè)備主要用途】
PLD450A型脈沖激光沉積設(shè)備采用PLD脈沖激光沉積技術(shù),用于制備高溫超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體膜、鐵電薄膜、硬質(zhì)薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質(zhì)結(jié),也可用于制備氮、碳、硅化合物及各種有機(jī)—無(wú)機(jī)復(fù)合材料薄膜及金剛石薄膜等。
【設(shè)備優(yōu)點(diǎn)】
設(shè)備全程采用一鍵式操作抽氣,關(guān)機(jī),程序自動(dòng)化定時(shí)操作。避免了繁瑣的角閥,插板閥人工開(kāi)啟。
【設(shè)備主要組成】
設(shè)備由沉積腔室(單室球形或圓筒形)、樣品加熱轉(zhuǎn)臺(tái)、激光入射轉(zhuǎn)靶、激光窗、電源控制系統(tǒng)、激光束掃描系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)、脈沖準(zhǔn)分子激光器等組成