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光波超精密——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌基于空氣軸承的基本原理,實(shí)現(xiàn)無摩擦和無振動(dòng)的平滑移動(dòng)。它具有運(yùn)動(dòng)精度高、清潔無污染等特點(diǎn)。同時(shí)還具有誤差均化作用,因而可用比較低的制造精度來獲得較高的導(dǎo)向精度。氣浮導(dǎo)軌在測(cè)量?jī)x器、精密機(jī)械中得到了廣泛的應(yīng)用。
氣浮導(dǎo)軌利用空氣的粘性,把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙,形成具有超高剛度的氣膜間隙,使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行。o氣浮導(dǎo)軌直線運(yùn)動(dòng)精度高,精度保持時(shí)間長(zhǎng),儀器精度使用壽命長(zhǎng).
光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌
由于具有高精度、低摩擦、無污染等特點(diǎn),空氣靜壓導(dǎo)軌被廣泛應(yīng)用于航空航天、食品醫(yī)i藥、高精度機(jī)床及測(cè)量?jī)x器等領(lǐng)域。導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度,主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙,其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。氣浮導(dǎo)軌由工作臺(tái)面和氣浮塊組成,氣浮臺(tái)以其無污染、運(yùn)動(dòng)摩擦小、能耗低等優(yōu)點(diǎn),在精度要求較高的機(jī)床中得到廣泛應(yīng)用,但目前氣浮臺(tái)存在的主要問題是,氣浮臺(tái)為非標(biāo)準(zhǔn)原裝件,可加工成各種形狀、結(jié)構(gòu)尺寸,雖然可使氣浮臺(tái)的應(yīng)用范圍更廣,但也出現(xiàn)了一些應(yīng)用難題,zui突出的是阻尼特性對(duì)系統(tǒng)工作性能的影響。
該微結(jié)構(gòu)能有效地應(yīng)用于超精密機(jī)床的動(dòng)靜導(dǎo)軌表面,可有效地降低氣浮導(dǎo)軌間隙內(nèi)高速氣體的流動(dòng)阻力,提高機(jī)床定位精度和系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)速度。以計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)方法(CFD)為基礎(chǔ)(Computational fluid dynamics, CFD),應(yīng)用雷諾平均方程和帶旋流修正的k-:湍流模型,建立了導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)表面流體動(dòng)力減阻分析模型,并結(jié)合流場(chǎng)分析和阻力分析,尋找符合氣浮導(dǎo)軌功能要求的微結(jié)構(gòu)表面。光波超精密——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌開式靜壓導(dǎo)軌,有以下特性:承受正載荷的能力很大,承受偏載和顛覆力的能力較差,無法承受反向載荷。本文研究了導(dǎo)軌表面微溝槽的形狀和幾何特征參數(shù)對(duì)減阻效果的影響規(guī)律,并通過識(shí)別各種因素對(duì)減阻效果的影響規(guī)律,分析了矩形、 V形、 U形、 V形、Space-V形等四種微結(jié)構(gòu)表面形態(tài),確定了z適ui合超精密機(jī)床氣浮導(dǎo)軌減阻要求的微溝槽形狀。然后,通過研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律,對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)。
光波超精密空氣導(dǎo)軌——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮式導(dǎo)軌利用空氣的粘性,把外壓縮空氣通過節(jié)流器引入導(dǎo)軌和滑塊之間的間隙,形成具有超高剛度的氣膜間隙,使負(fù)載得以平穩(wěn)運(yùn)行i。
氣浮式導(dǎo)軌電子制造設(shè)備工業(yè)中超精密測(cè)量和實(shí)驗(yàn)室測(cè)量,如光刻機(jī)、貼片機(jī)等納米和亞微米工業(yè)磨擦系數(shù)接近零,永i不磨損。
持久的精i確度,出廠精i確度即永i久精i確度
導(dǎo)向器永i不磨損,因此不存在售后問題,無需返修,更不用全套更換。
精i確度永不丟失,導(dǎo)軌無需人工校正,補(bǔ)償。
計(jì)量準(zhǔn)確。由于氣膜剛度大、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、振幅小、振動(dòng)頻率接近,所以可以完全避免和消除高精度測(cè)量中振動(dòng)對(duì)測(cè)量精度的影響,摩擦力小,低速運(yùn)動(dòng)不會(huì)產(chǎn)生爬行抖動(dòng)現(xiàn)象。隨動(dòng)電機(jī)快速性好,適應(yīng)頻繁啟停測(cè)試要求
光波超精密技術(shù)研究院——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌
氣浮導(dǎo)軌氣膜的厚度大于兩個(gè)摩擦面的幾何不規(guī)則度,在氣膜中形成純流體摩擦其摩擦阻力完全為氣體的粘性所致.由于氣浮導(dǎo)軌無固體摩擦,因而具有可靠、長(zhǎng)壽命、以及摩擦系數(shù)極i小等特點(diǎn),其傳動(dòng)效率i高,速度適應(yīng)性好,且由于氣體的可壓縮性和流動(dòng)性,因而具有誤差均化作用,能保持一定的精度.氣浮導(dǎo)軌的承載能力、氣腔內(nèi)壓力分布及承載面積與氣腔內(nèi)壓力有關(guān)。通過拓展(安裝長(zhǎng)度基準(zhǔn)器激光或光柵)常應(yīng)用于大尺寸測(cè)量設(shè)備(如:激光跟蹤儀)的距離示值校準(zhǔn)、空間尺寸測(cè)量示值校準(zhǔn)、動(dòng)態(tài)示值校準(zhǔn)。
測(cè)量機(jī)的氣浮導(dǎo)軌(氣墊)按其作用可分為承載式氣墊、導(dǎo)向式氣墊和壓向式氣墊.圖3為 X向?qū)к墯鈮|分布(俯視圖). X向?qū)к墴o驅(qū)動(dòng)側(cè)有4個(gè)氣墊,上下各2個(gè).驅(qū)動(dòng)側(cè)有6個(gè)氣墊,其中①、②、③是承載式氣墊,依靠它們來承受整個(gè)移動(dòng)橋的重量,并保持一定的工作間隙.當(dāng)移動(dòng)橋沿 X向移動(dòng)時(shí),它們使橋框平行于 XY平面運(yùn)動(dòng),即限制了 Z向直線運(yùn)動(dòng)和繞 X、 Y軸轉(zhuǎn)動(dòng).④、⑤是引導(dǎo)式氣墊,限制了橋框繞 Z軸的直線度運(yùn)動(dòng)誤差和旋轉(zhuǎn).⑥是預(yù)緊性氣墊,使氣墊④、⑤在導(dǎo)軌間有一定的預(yù)緊力.
光波超精密氣浮導(dǎo)軌——進(jìn)口花崗石氣浮導(dǎo)軌
直線氣浮導(dǎo)軌提供了一種非接觸式空氣軸承,可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的軸承式滑動(dòng)。由于采用了一體化的系統(tǒng)封裝,線性空氣滑軌由鋁多孔碳軸承(“平臺(tái)”)和精密鋁導(dǎo)軌組成。
線型氣動(dòng)滑塊具有已獲專利的氣動(dòng)軸承設(shè)計(jì),即多孔介質(zhì)技術(shù)?,可以通過在軸承表面形成薄而堅(jiān)硬的氣層來消除摩擦。碳素的自然滲透能力保證了空氣的均勻流動(dòng)。這一獨(dú)特的設(shè)計(jì)提高了精度和操作效率,并在氣源失靈時(shí)提供了堅(jiān)固、抗碰撞的設(shè)計(jì)。
導(dǎo)軌按軌面摩擦性質(zhì)可將導(dǎo)軌分為滑動(dòng)導(dǎo)軌、滾動(dòng)導(dǎo)軌、液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌、磁浮導(dǎo)軌?;瑒?dòng)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,剛性好,摩擦阻力大,連續(xù)運(yùn)行磨損快,制造中軌面刮研工序的要求很高。然后,通過研究導(dǎo)軌氣浮表面微結(jié)構(gòu)減阻功能表面的幾何特性(構(gòu)型、尺寸、形狀、位置等)對(duì)減阻的影響規(guī)律,對(duì)氣浮導(dǎo)軌微結(jié)構(gòu)功能表面的參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)?;瑒?dòng)導(dǎo)軌的靜摩擦因數(shù)與動(dòng)摩擦因數(shù)差別大,因此低速運(yùn)動(dòng)時(shí)可能產(chǎn)生爬行現(xiàn)象。
滑動(dòng)導(dǎo)軌常用于各種機(jī)床的工作臺(tái)或床身導(dǎo)軌,裝配在動(dòng)軌上的多是工作臺(tái)、滑臺(tái)、滑板、導(dǎo)靴、頭架等。導(dǎo)軌截面有矩形、燕尾形、V形、圓形等。重型機(jī)械中常將幾種截面形狀組合使用,共同承擔(dān)導(dǎo)向和支承的作用。
滑動(dòng)導(dǎo)軌的特點(diǎn)
滑動(dòng)導(dǎo)軌的特點(diǎn)是在導(dǎo)軌與滑動(dòng)件之間使用了介質(zhì),介質(zhì)的種類包括固態(tài)抗摩擦材料、油以及空氣等,滑動(dòng)導(dǎo)軌也因此而分為不同的類型。
普通的抗摩擦導(dǎo)軌是在移動(dòng)組件上安裝了一種固態(tài)抗摩擦材料,比如聚氯i乙烯或青銅混合材料等,以起到降低導(dǎo)軌摩擦力的作用。抗摩擦材料應(yīng)設(shè)計(jì)有油槽,滿足移動(dòng)組件和導(dǎo)軌表面之間油潤(rùn)滑或其它形式潤(rùn)滑的需要。
使用為廣泛的是液壓介質(zhì),其中的典型代表就是靜壓導(dǎo)軌。在壓力作用下,液壓油進(jìn)入滑動(dòng)組件的溝槽,在導(dǎo)軌和滑動(dòng)組件之間形成一層油膜,將導(dǎo)軌和移動(dòng)組件隔離開,這樣可以大大減少移動(dòng)組件受到的的摩擦力,從而起到潤(rùn)滑作用。
滾動(dòng)導(dǎo)軌是在運(yùn)動(dòng)部件與支承部件之間放置滾動(dòng)體,如滾珠、滾柱、滾針或滾動(dòng)軸承。滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)是:摩擦系數(shù)不大予滑動(dòng)導(dǎo)軌摩擦系數(shù)的1/10,靜摩擦因數(shù)與動(dòng)摩擦因數(shù)差別小,不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象,可用小功率電動(dòng)機(jī)拖動(dòng),定位精度高,壽命長(zhǎng)。