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高純氣體(Purified Gases)氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。
高純氣體對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氮,氫,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對(duì)于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對(duì)于碳?xì)浠衔?,純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。999%執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):國(guó)標(biāo):產(chǎn)品介紹:用于氣球、溫度計(jì)、電子管、潛水服等的充氣。
高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無(wú)機(jī)高純氣體
由于氫氣的危險(xiǎn)特性,在貯存和使用氫氣過(guò)程中必須注意防火防爆。
一、貯存和使用氫氣的場(chǎng)所必須有良好的通風(fēng),而且通風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在屋頂?shù)膌高部位,屋頂內(nèi)平面要平整,不要凹凸不平,以防氫氣在凹處積聚。氧的存在氧有三種穩(wěn)定同位素,即氧16、氧17和氧18,其中氧16含量占99。在接近屋頂?shù)纳喜坎荒苡谢鹪春碗娫?,在設(shè)置電源時(shí)應(yīng)盡量考慮布置在下方。所安裝的電氣設(shè)備應(yīng)滿足場(chǎng)所防火防爆的要求。
二、輸送氫氣的設(shè)備和管路應(yīng)有良好的接地,管路的法蘭處應(yīng)進(jìn)行跨接。氫氣在管道中輸送時(shí)要嚴(yán)格控制流速,用氣時(shí),放氣速度也不得過(guò)快,防止摩擦產(chǎn)生和積聚靜電。
五、使用時(shí)要嚴(yán)格按操作規(guī)程和安全操作要點(diǎn)執(zhí)行,使用時(shí)減壓閥應(yīng)安裝牢固,開啟氣瓶閥門時(shí)要緩慢。氣瓶的閥門如有損壞不得使用,并應(yīng)由專門單位維修。
六、除貯存、使用氫氣的場(chǎng)所有可能有氫氣泄漏外,某些物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)時(shí)也會(huì)產(chǎn)生氫氣,如金屬l鉀、鈉遇水會(huì)放出氫氣;活潑金屬遇酸發(fā)生置換反應(yīng)產(chǎn)生氫氣;蓄電池充電時(shí)也有氫氣放出。所以對(duì)于有可能產(chǎn)生氫氣的場(chǎng)所,也應(yīng)根據(jù)情況采取相應(yīng)的防火防爆措施。生產(chǎn)過(guò)程中鑒于用電形勢(shì)越來(lái)越嚴(yán)重的狀況,市、區(qū)供電部門對(duì)用電單位采取限電措施,給我廠供電計(jì)劃僅170KW,(而我廠近期實(shí)際負(fù)荷在300KW左右),并對(duì)我廠超負(fù)荷用電發(fā)出警告通知。
三氟化氮在常溫下是一種無(wú)色、無(wú)臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體,是一種強(qiáng)氧化劑。我公司的FID敏感度指標(biāo)仍是Mt≤1×10-11g/s(正十六烷),和其它廠家的指標(biāo)一樣,但總噪聲值低。三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體,在離子蝕刻時(shí)裂解為活性氟離子,這些氟離子對(duì)硅和鎢化合物,高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性(對(duì)氧化硅和硅),它在蝕刻時(shí),在蝕刻物表面不留任何殘留物,是非常良好的清洗劑,同時(shí)在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運(yùn)用。