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發(fā)布時(shí)間:2020-08-15 07:50  






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潽拓-萊寶渦輪分子泵維修的相關(guān)參數(shù)

MAG W 830 C W 1300 C W 1300 C

DN 160 DN 200 DN 250

Pumping speed (PNEUROP)

for N2 l·s-1 700 1100 1220

for Ar l·s-1 650 1050 1180

for H2 l·s-1 300 920 1020

Compression for N2 > 5·107 > 108 > 108



潽拓-萊寶渦輪分子泵維修的數(shù)據(jù)

貝克提出有實(shí)用價(jià)值的萊寶渦輪分子泵,以后相繼出現(xiàn)了各種不同結(jié)構(gòu)的分子泵,主要有立式和臥式兩種,圖1為萊寶立式渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)圖。iH系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD和LPCVD制程)提供了高可靠性。萊寶渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150~400米/秒)。


潽拓-萊寶渦輪分子泵維修數(shù)據(jù)

萊寶渦輪分子泵選用有油的前級(jí)泵工作時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)。在當(dāng)前研制成功的不同型的干式前級(jí)泵可作為萊寶渦輪分子泵的前級(jí)泵時(shí)就解決了有油系統(tǒng)的返流問題,實(shí)現(xiàn)清潔的真空獲得,如能選用當(dāng)前出現(xiàn)的那種從大氣壓一直抽到高真空的新型分子泵工作就更好了。



潽拓-原裝萊寶真空泵維修

( 在真空狀態(tài)下如果前級(jí)泵管道上的真空規(guī)管拔下來的時(shí)候密封圈被吸進(jìn)去會(huì)損害分子泵嗎)

一,如果分子泵以及前級(jí)泵都在運(yùn)行中的話,密封圈是會(huì)被吸入前級(jí)泵一端,大氣會(huì)進(jìn)入正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)的分子泵中,造成分子泵損壞,二,如果分子泵在停止?fàn)顟B(tài),密封圈會(huì)被吸入管道內(nèi),不會(huì)對(duì)分子泵造成影響



半導(dǎo)體芯片市場(chǎng)的驅(qū)動(dòng)因素是電子內(nèi)容產(chǎn)品的不斷 增長(zhǎng),以及現(xiàn)有電子產(chǎn)品變得越來越便宜、強(qiáng)大、小巧和輕便。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。 每個(gè)半導(dǎo)體芯片上含有數(shù)十億個(gè)極微小的電氣設(shè)備,需要通過許多重復(fù)的真空過程步驟制造。 精細(xì)的層次和電路圖案需要通過小心控制的真空沉積和蝕刻過程步驟加工。 真空過程還被用于改變?cè)O(shè)備材料的電學(xué)性質(zhì)。 隨著技術(shù)進(jìn)步,要生產(chǎn)更小、更強(qiáng)大和更便宜的設(shè)備,真空過程步驟也必須進(jìn)步。



INFICON產(chǎn)品分類:

1.檢漏儀

2.用于HVAC/R和汽車的維修工具

3.石英監(jiān)控器晶體

4.薄膜層積和電子槍控制裝置

5.氣體分析儀、質(zhì)譜儀

6.氣體濃度檢測(cè)儀

7.射頻傳感技術(shù)

8.工廠范圍故障檢測(cè)與分類軟件(FDC)軟件

9.真空饋入裝置

10.真空原件

11.真空計(jì)控制器和電纜

12.寬量程真空計(jì)

13.真空計(jì)






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廣州潽拓——愛發(fā)科ULVAC_heliot900

ULVAC氦質(zhì)譜檢漏儀HELIOT 900

        氦質(zhì)譜檢漏儀HELIOT 900系列是愛發(fā)科新推出的新一代氦質(zhì)譜檢漏儀產(chǎn)品特點(diǎn):高速氦氣排氣在微漏模式下He的排氣速度達(dá)到5L/S實(shí)現(xiàn)迅速降低背壓及系統(tǒng)的穩(wěn)定性,并實(shí)現(xiàn)即使增加輔助排氣系統(tǒng)也可檢測(cè)出微小漏點(diǎn)。,LTD文章標(biāo)注的極限真空,都是基于德國DIN28428的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),使用不銹鋼CF接口,烘烤后48小時(shí)測(cè)得的。高便利性觸摸屏采用在靜電容量方式的觸摸板的7英寸觸摸屏,顯示器完全從本體分離出來,可以通過附屬的專用控制臺(tái)來配合合適的版面使用方法。另外,因?yàn)榇钶d與本體相連的無線控制模式,可以靈活的運(yùn)用遙控器。直觀的操作畫面可進(jìn)行只管操作,的識(shí)別性及簡(jiǎn)易的測(cè)試畫面可支持多種真空泵:油回旋泵、渦旋型干泵904系列裝。


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