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江蘇干式真空泵廠家服務(wù)為先 選擇齊韻泵業(yè)

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發(fā)布時(shí)間:2021-07-31 16:00  

淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求; 低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。我公司的主要產(chǎn)品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī):W、WY、WLW系列往復(fù)式真空泵旋片式2X系列等。

轉(zhuǎn)子下端排除,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一周排氣一次。轉(zhuǎn)子和泵體內(nèi)表面形成一種密封結(jié)構(gòu),矩形斷面間隙泄漏較少,故可得到較高的壓縮比,泵的壓縮比和抽速與轉(zhuǎn)子的導(dǎo)角,轉(zhuǎn)子與泵體的間隙,的嚙合率,圈數(shù),轉(zhuǎn)子直徑和旋轉(zhuǎn)速度等因素有關(guān)。由于它的圈數(shù)多,比上述螺桿式的壓縮比高,而抽速低,這種泵可從大氣壓抽到極限壓力10-1Pa,抽速為40~80m3/h的泵有市售。

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還可以使用封閉式電機(jī),但操作人員在維修時(shí)必須依賴于泵生產(chǎn)商,因?yàn)檫@類封閉式電機(jī)是專門為該泵而開發(fā)的。比如使用磁耦合技術(shù),可以使用具有成本效益的標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)。

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 一、泵油的密封性。干式真空泵對(duì)泵油的密封性有很大的要求,真空泵油需要有一定的粘度,在低溫的條件下可以使干式真空泵快速轉(zhuǎn)動(dòng)。在高溫的條件下泵油要有良好的密封性,使得泵內(nèi)的泵油具有較低的溫差;

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