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真空箱式氦檢漏系統
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機械系統主要由以下四個單元構成:真空箱單元、充氦氣回收單元、檢漏單元、清氦單元。
1.1真空箱單元
真空箱單元由真空箱、真空泵組、真空測量裝置、真空閥、執(zhí)行裝置及不銹鋼管道等組成。
真空箱:采用不銹鋼材質制造,其內表面在加工后經拋光和清洗處理,保證了良好的本底和ji少的藏氣,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦氣回收單元
充氦氣回收部分主要包括儲氣(高壓)罐、回收(低壓)罐、壓縮機、真空泵、電磁閥、真空閥、壓力傳感器、真空計和管道等組成。能在設定的時間內對工件進行抽空、充氦氣和氦氣回收等處理。
1.3 檢漏單元
真空箱式氦檢漏系統機械系統部分的氦檢漏單元,氦質譜檢漏儀采用進口產品,自動校準漏孔。技術成熟,性能穩(wěn)定,安裝維護方便,使其和真空箱連接更加協調緊密。氦質譜檢漏儀公司
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真空箱式氦檢漏設備
真空箱式氦檢漏設備適用對充氣環(huán)網柜(以下簡稱工件)進行真空法檢漏。同步對工件和真空箱抽真空,使工件內外壓差不大0.04Mpa,對被檢工件充注氦氣,應用真空箱法進行氦質譜氣密性檢測,通過該裝置判斷出被檢工件中的合格與不合格。然后將被檢工件內的氦氣回收循環(huán)使用,后向工件內充入規(guī)定壓力的SF6工作氣體。檢測節(jié)拍:多箱聯動20S~60S/箱真空箱內腔尺寸:根據被檢工件外形及尺寸定制。系統嚴格按照客戶的要求設計制造,采用模塊化的設計,充分考慮客戶的檢漏要求,同時也盡可能采用標準化的模塊和部件,保證了系統的可靠性和可維護性。氦質譜檢漏儀公司
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