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1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口、切削性能的改善關(guān)系極大。

2、對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3、爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

固溶處理：使合金中各種相充分溶解，強化固溶體并提高韌性及抗蝕性能，消除應(yīng)力與軟化，以便繼續(xù)加工成型。

時效處理：在強化相析出的溫度加熱并保溫，使強化相沉淀析出，得以硬化，提高強度。

淬火：將鋼奧氏體化后以適當?shù)睦鋮s速度冷卻，使工件在橫截面內(nèi)全部或一定的范圍內(nèi)發(fā)生馬氏體等不穩(wěn)定組織結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變的熱處理工藝。

回火：將經(jīng)過淬火的工件加熱到臨界點AC1以下的適當溫度保持一定時間，隨后用符合要求的方法冷卻，以獲得所需要的組織和性能的熱處理工藝。

隨著真空熱處理技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備的發(fā)展，這幾年逐步發(fā)展出了一批新技術(shù)，這些新技術(shù)反過來也推動了真空熱處理在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。其中，真空氫氣復(fù)合凈化就是這些新技術(shù)中的佼佼者，它打破了以往使用氫氣爐時容易受到各種外在環(huán)境制約的影響，并且還極大地提高了使用安全性。

在民用市場領(lǐng)域，針對該技術(shù)的研究和應(yīng)用推動了我國金剛石制造技術(shù)的進步。在領(lǐng)域，該技術(shù)在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發(fā)揮了重要作用，通過采用此項技術(shù)使得產(chǎn)品磁性能得到了明顯提高，而產(chǎn)品矯頑力卻得到了顯著降低。