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脈沖激光沉積系統(tǒng)特點及優(yōu)勢
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺可以安裝6個靶位,靶材更換靈活;樣品臺樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進樣室可以存儲多個靶和樣品;交易過程無需繁瑣的進、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價比高;
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脈沖激光沉積簡介
沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
【設(shè)備主要用途】
PLD450A型脈沖激光沉積設(shè)備采用PLD脈沖激光沉積技術(shù),用于制備高溫超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體膜、鐵電薄膜、硬質(zhì)薄膜以及微電子和光電子用多元氧化物薄膜及異質(zhì)結(jié),也可用于制備氮、碳、硅化合物及各種有機—無機復(fù)合材料薄膜及金剛石薄膜等。
【設(shè)備優(yōu)點】
設(shè)備全程采用一鍵式操作抽氣,關(guān)機,程序自動化定時操作。避免了繁瑣的角閥,插板閥人工開啟。
【設(shè)備主要組成】
設(shè)備由沉積腔室(單室球形或圓筒形)、樣品加熱轉(zhuǎn)臺、激光入射轉(zhuǎn)靶、激光窗、電源控制系統(tǒng)、激光束掃描系統(tǒng)、計算機控制轉(zhuǎn)靶的旋轉(zhuǎn)、脈沖準(zhǔn)分子激光器等組成