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氦質(zhì)譜檢漏儀適用領(lǐng)域
氦質(zhì)譜檢漏儀,在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,同樣在裝備中也離不開檢漏,彈體、燃料儲備罐、燃料運輸管道、彈頭、特殊部件的密封性都要用到氦質(zhì)譜檢漏。 氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用。
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理是什么?
檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。在這個密封腔體內(nèi)充滿氦氣,用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外,不同部位檢測,如果密封存在問題,則有氦氣泄漏,被質(zhì)譜儀檢測到。質(zhì)譜檢漏儀是一種簡易的質(zhì)譜儀,對分辨率和檢測的質(zhì)量范圍要求很低,但對靈敏度要求較高。其實各個種類的質(zhì)譜儀都可用來作為檢漏質(zhì)譜儀。
氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離,形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間,不同離子的質(zhì)荷比不同,在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離,在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙,打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送人到電流放大器,通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
背壓法氦質(zhì)譜檢漏的優(yōu)缺點
背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導(dǎo)致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應(yīng)兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。
背壓法的檢漏標準主要有QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗方法方法112 密封試驗》,主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。