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大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學(xué)特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相 關(guān)材料的光學(xué)特性評價?檢查。歡迎新老客戶來電咨詢!
使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕i對反射率進行測量,可進行高i精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件
考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]
當樣品表面存在粗糙度(粗糙度)時,將表面粗糙度和空氣(air)及膜厚材料以1:1的比例混合,模擬為“粗糙層”,可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN(氮化硅)的情況。
膜厚測試儀的預(yù)熱 關(guān)機超過3個小時開機必做。點擊“波數(shù)”,將波譜校準片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設(shè)定測量時間為6S重復(fù)測量次數(shù)為30~50次,點擊Go鍵,等待自動連續(xù)測量完成。
影響膜厚儀測量的的客觀因素
耦合劑對膜厚儀的影響。耦合劑是用來排除探頭和被測物體之間的空氣,使超聲波能有效地穿入工件達到檢測目的。如果選擇種類或使用方法不當,將造成誤差或耦合標志閃爍,無法測量。因根據(jù)使用情況選擇合適的種類,當使用在光滑材料表面時,可以使用低粘度的耦合劑;當使用在粗糙表面、垂直表面及頂表面時,應(yīng)使用粘度高的耦合劑。