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（3） 擴(kuò)散泵：以低壓高速蒸汽流作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。由于醫(yī)l藥環(huán)境的特殊性，要求為便于全l面清洗，泵與管道之間好采用活性連接，其底座采用帶腳支撐，使底座脫開地面。氣體分子擴(kuò)散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為：① 自凈化擴(kuò)散泵：泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵② 分餾式擴(kuò)散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸汽壓強(qiáng)較低的工作液蒸汽進(jìn)入高真空工作的噴嘴，而蒸汽壓強(qiáng)較高的工作液蒸汽進(jìn)入低真空工作的噴嘴，它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。

氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式?；y式真空泵：在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個(gè)滑閥，轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動(dòng)和滾動(dòng)，滑閥上部的滑閥桿能在可擺動(dòng)的滑閥導(dǎo)軌中滑動(dòng)，而泵腔分成兩個(gè)可變?nèi)莘e。吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。

干泵：國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。氣體傳輸泵氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：變?nèi)菡婵毡美帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

羅茨泵的工作原理及其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵。真空泵真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子彼此無接觸，轉(zhuǎn)子與泵腔壁也無接觸，其間通常有0.15~1.0mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。

由于羅茨泵泵腔內(nèi)無摩擦，轉(zhuǎn)子可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，一般為1500~3000r/min，而且不必用潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)無油清潔的抽氣過程。是PLC或單片機(jī)控制的工業(yè)自動(dòng)化產(chǎn)品，用于手機(jī)屏幕貼合用的設(shè)備之一。泵的潤(rùn)滑部位僅l限于軸承和齒輪，以及動(dòng)密封處。泵沒有往復(fù)運(yùn)動(dòng)部件，故可實(shí)現(xiàn)良好的動(dòng)平衡。因而，羅茨泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，轉(zhuǎn)速高，尺寸小可獲得大的抽速。