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發(fā)布時(shí)間:2021-01-01 18:01  







用得較多的是磁控濺射、中頻濺射、直流濺射、RF濺射和離子束濺射。特征:在真空室內(nèi)充入放電所需要的惰性氣體(如ya氣),在高壓電場(chǎng)作用下氣體分子因電離而產(chǎn)生大量正離子。帶電離子被強(qiáng)電場(chǎng)加速,便形成高能量的離子流轟擊蒸發(fā)源材料(稱(chēng)為靶)。在離子轟擊下,蒸發(fā)源材料的原子將離開(kāi)固體表面,以高速度濺射到基片上并沉積成薄膜。RF(射頻)濺射RF濺射使用的頻率約為13.56MHz,它不需要熱陰極,能在較低的氣壓和較低的電壓下進(jìn)行濺射。



PVD鍍膜(離子鍍膜)技術(shù)的主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):和真空蒸發(fā)鍍膜真空濺射鍍膜相比較,PVD離子鍍膜具有如下優(yōu)點(diǎn):1.膜層與工件表面的結(jié)合力強(qiáng),更加持久和耐磨2.離子的繞射性能好,能夠鍍形狀復(fù)雜的工件3.膜層沉積速率快,生產(chǎn)效lv高4.可鍍膜層種類(lèi)廣泛5.膜層性能穩(wěn)定、安全性高(獲得FDA認(rèn)證,可植入人體)PVD是英文PhysicalVaporDepsition的縮寫(xiě),中文意思是“物理氣相沉積”,是指在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術(shù)。PVD鍍膜和PVD鍍膜機(jī):PVD(物理氣相沉積)鍍膜技術(shù)主要分為三類(lèi),真空蒸發(fā)鍍膜、真空濺射鍍和真空離子鍍膜。



有四個(gè)因素影響著清洗的質(zhì)量,分別為:清洗時(shí)間、化學(xué)藥劑、機(jī)械作用以及清洗液溫度,這四個(gè)因素之間也相互影響,一個(gè)因素的減弱,可以通過(guò)增強(qiáng)另外三個(gè)因素的作用來(lái)彌補(bǔ),反之亦然。在這四個(gè)因素中,清洗時(shí)間的zui小化也是追求的目標(biāo),這樣可以提高清洗的效率.縮短生產(chǎn)時(shí)間和交貨周期。清洗主要方法和步驟應(yīng)包括:化學(xué)藥劑噴淋、化學(xué)藥劑浸泡與超聲波清洗、漂洗、烘干。1)化學(xué)藥劑噴淋?chē)娏軐?duì)于清洗來(lái)說(shuō)非常有效,它能夠清除掉工件上絕大部分油污及污染物。尤其對(duì)有孔工件來(lái)說(shuō),更加有效,噴淋到工件上的化學(xué)藥劑會(huì)流入孔中或化學(xué)藥劑被直接噴進(jìn)孔中對(duì)孔內(nèi)壁進(jìn)行沖洗。


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