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用途:
可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高,且不易i燃燒,另外,六氟化硫還用于各種加su器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。在微電子業(yè)中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高,且不易i燃燒,另外,六氟化硫還用于各種加su器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。目前六氟化硫是應用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑,示蹤距離可達100km。六氟化硫化學穩(wěn)定性好,對設(shè)備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),作制冷劑替代氟利昂,對臭氧層完全沒有破i壞作用,符合環(huán)保和使用性能的要求,是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ闹评鋭?。用作電氣絕緣介質(zhì)和滅弧劑,測定大氣污染程度的示蹤劑。
充裝六氟化硫氣體嚴禁水分進入
(1)工作未開始之前,首先應測定現(xiàn)場周圍環(huán)境空氣相對濕度≤80%(即空氣中水蒸汽密度和同溫度下飽和水蒸汽密度比的百分值),這是限制空氣含水具體示數(shù)。測定如不合格,則應采取措施或重選干燥晴朗的天氣進行充裝。
(2)為使SF6泄漏氣體及時排換,主尖在進行充裝的同時開啟通風機,認真遵守空氣SF6含量不得超過1000ppm的規(guī)定。六氟化硫防護是保護工作人員的必備措施,不光是定期檢查SF6鋼瓶、高壓SF6設(shè)備還是穿著六氟化硫防護服都屬于六氟化硫防護的內(nèi)容。在工作開始后的一定時間內(nèi)即應進行檢測,并具體情況于中途再進行檢側(cè)。當出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標準時,應隨即對部件進行詳細檢查,查找原因并予以消除。
高純六氟化硫的應用
六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年,國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè),給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。
高純六氟化硫(純度在99.99%以上),國內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。
高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。
六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一,近年來,各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。
該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時,還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來用量有明顯的提高。
據(jù)權(quán)i威機構(gòu)預測,2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場,總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右,
國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。1、直接合成法經(jīng)凈化后的氟(含HF≤0.5%)和硫反應生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求,半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。