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      FTS需在原數(shù)控系統(tǒng)上增加專用伺服控制系統(tǒng)，由此增加了系統(tǒng)的復(fù)雜度。由于采用隨動方式，主動的主軸位置控制精度要求相對不高，但系統(tǒng)的隨動精度性能要求很高。某些類光學(xué)自由曲面元件雖然曲面矢高較大，但曲面變化較為平緩。加工這類曲面，刀具直線運動速度和加速度都不大。這時，可采用慢速拖板伺服（S3—Slow Slide Servo）超精密加工技術(shù)，即XZC聯(lián)動加工。天河精加工價格服務(wù)熱線。

       為了獲得光學(xué)級的超精密加工質(zhì)量，除了要求直線軸具有很高的控制分辨率和精度外，還特別要求C軸具有極高的角度控制分辨率（如達(dá)0.06″）和精度。航空航天設(shè)計中，減少阻力是的。以前的、飛機(jī)光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計師只能采用球、平面形狀光學(xué)零件設(shè)計技術(shù)，而球、平面形狀會引入空氣阻力。飛機(jī)和上符合理想設(shè)計的保形窗口會大幅度地降低空氣阻力。天河精加工價格服務(wù)熱線。

      伺服運動控制器除了具有高分辨率、高實時性要求外，在控制方程及模式技術(shù)上也需不斷進(jìn)步。實驗證明：研制系統(tǒng)進(jìn)行曲面加工控制時，伺服運動控制器執(zhí)行一階無差、二階有差控制，刀具軌跡動態(tài)跟蹤有滯后現(xiàn)象。這種滯后量雖小，精密加工可不計，但超精密加工中不可忽略。天河精加工價格服務(wù)熱線。

         從加工精度和效能出發(fā)，數(shù)控系統(tǒng)除了滿足超精密機(jī)床控制顯示分辨率、精度、實時性等要求，還需擴(kuò)展機(jī)測量、對刀、補(bǔ)償?shù)仍S多輔助功能。因為通用數(shù)控系統(tǒng)難以滿足要求，所以國外的超精密機(jī)床現(xiàn)在基本都采用PC與運動控制器相結(jié)合研制開放式CNC數(shù)控系統(tǒng)模式。這種模式既可使數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)高的軸控性能，還可獲得高的功能可擴(kuò)充性。天河精加工價格服務(wù)熱線。

      超精加工與一般精度加工不同，加工需輔以測量反復(fù)迭代進(jìn)行。為了減少工件再定位引入的安裝誤差，或解決大尺寸、復(fù)雜型面無有效測量儀器問題，機(jī)床在機(jī)需配置各種光學(xué)、電子測量儀器和補(bǔ)償處理手段。對此，PC與運動控制器相結(jié)合的開放式CNC數(shù)控系統(tǒng)可發(fā)揮其優(yōu)勢。天河精加工價格服務(wù)熱線。

       振動對超精密加工的影響非常明顯。機(jī)床隔振需采取特殊的地基處理和機(jī)床本體氣浮隔振復(fù)合措施。氣浮隔振系統(tǒng)采用具有位置控制的主動式氣墊。LODTM機(jī)床支撐在4個氣墊上，并形成3點動態(tài)可調(diào)平支撐。機(jī)床體氣浮隔振系統(tǒng)還需具備自動調(diào)平功能，以防止機(jī)床加工中水平狀態(tài)變化對加工的影響。對于LODTM隔振要求高的機(jī)床，隔振系統(tǒng)的自然頻率要求在1Hz以下。天河精加工價格服務(wù)熱線。

     超精加工所能達(dá)到的表面質(zhì)量、面形精度與元件尺寸、形狀、材料相關(guān)。未來反映機(jī)床精度水平的LODTM，加工精度穩(wěn)定達(dá)到，表面粗糙度在1~5nm,面形精度可達(dá)亞微米（工件尺寸≥φ1000mm）。對于具有復(fù)合加工功能的機(jī)床，輔以測量技術(shù)還可進(jìn)一步從加工工藝上提。天河精加工價格服務(wù)熱線。

        關(guān)于大尺度的發(fā)展應(yīng)用，如適應(yīng)未來空、強(qiáng)激光輕質(zhì)、高剛性金屬基主反射鏡加工的超大型SLODTM機(jī)床；地基超大口徑深空望遠(yuǎn)鏡（如歐洲的Euro50（φ50m）、OWL（φ100m））拼接式離軸非球面鏡（數(shù)米尺寸）加工的多軸超精密磨削加工等（圖3）。近年來，太赫茲（THz）作為一門新興技術(shù)得到了廣泛重視。太赫茲頻譜介于微波與紅外之間。太赫茲的獨特性能給反隱身探測、電子對抗、電磁、寬帶通信、天文學(xué)、醫(yī)學(xué)成像、無損檢測、安全檢查等領(lǐng)域帶來了深遠(yuǎn)的影響。太赫茲是未來超精密加工技術(shù)與機(jī)床廣泛和重要的應(yīng)用領(lǐng)域。天河精加工價格服務(wù)熱線。