潮州防水檢漏儀信賴推薦博為光電質(zhì)量可靠

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發(fā)布時(shí)間：2021-09-07 06:12

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時(shí)，氦和其他元件的泄漏氣體會(huì)從泄漏孔中泄漏出來。當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識(shí)別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號(hào)。在獲得氦氣信號(hào)值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據(jù)氦氣儲(chǔ)氣庫位置與樣品的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結(jié)了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點(diǎn)和檢測標(biāo)準(zhǔn)。

得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標(biāo)。

1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應(yīng)清除時(shí)間: 當(dāng)一定流量的勘探氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示器可以達(dá)到較大值，漏率指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時(shí)間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時(shí)間略長于響應(yīng)時(shí)間。

3.啟動(dòng)時(shí)間: 氦質(zhì)譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時(shí)間

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí)，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理

檢漏儀內(nèi)部泄漏

定位方法

采用噴吹法對(duì)各密封部位的氣密性進(jìn)行檢測，因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近，檢測時(shí)定位難度較大。經(jīng)摸索，在檢測時(shí)采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風(fēng)扇的電源斷開，避免風(fēng)扇將氦源吹散至各個(gè)密封環(huán)節(jié)，造成定位不準(zhǔn)確。②噴吹時(shí)，要嚴(yán)格控制氦源的流量，盡量采用噴咀流量小的噴，提高定位的能力。③儀器的反應(yīng)時(shí)間小于1 s，所以在一個(gè)部位噴吹的時(shí)間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號(hào)有無變化。