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磁控鍍膜機(jī)的濺射方式有哪些
磁控鍍膜機(jī)的濺射方式有哪些 下面小編就來給大家講講磁控鍍膜設(shè)備的濺射方式。 主要的磁控濺射鍍膜設(shè)備可以根據(jù)其特征分為以下四種:(1)直流濺射;(2)射頻濺射;(3)磁控濺射;(4)反應(yīng)濺射.另外,利用各種離子束源也可以實(shí)現(xiàn)薄膜的濺射沉積. 現(xiàn)在的直流濺射(也叫二級(jí)濺射)較少用到,原因是濺射氣壓較高,電壓較高,濺射速率小,膜層不穩(wěn)定等缺點(diǎn). 直流濺射發(fā)展后期,人們?cè)谄浔砻婕由洗艌?chǎng),磁場(chǎng)束縛住自由電子后,以上缺點(diǎn)均有所改善,也是現(xiàn)階段廣泛應(yīng)用的一種濺射方法. 而后又有中頻濺射,提高了陰極發(fā)電速率,不易造成放電、靶材等現(xiàn)象. 而射頻濺射是很高頻率下對(duì)靶材的濺射,不易放電、靶材可任選金屬或者陶瓷等材料.沉積的膜層致密,附著力良好.
實(shí)驗(yàn)室中使用小型鍍膜設(shè)備
實(shí)驗(yàn)室中使用小型鍍膜設(shè)備 我們?cè)趯?shí)驗(yàn)室中使用的基本上都是小型的鍍膜設(shè)備,下面我們就來了解一下這種設(shè)備。 用作真空蒸發(fā)鍍的裝置稱為蒸發(fā)鍍膜機(jī)。蒸發(fā)鍍膜機(jī)主要由真空室、排氣系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和電氣設(shè)備四部分組成。真空室是放置鍍件、進(jìn)行鍍膜的場(chǎng)所,直徑一般為400~700mm,高400~800mm,用不銹鋼或碳鋼制作,有水冷卻裝置。 真空中制備膜層可防止膜料和鍍件表面的污染,消除空間碰撞,提高鍍層的致密性和可制備單一化合物的特殊功能的鍍層。 為了提高鍍層厚度的均勻性,真空室內(nèi)的鍍件夾具有行星機(jī)構(gòu)或自轉(zhuǎn)加公轉(zhuǎn)的運(yùn)動(dòng)裝置,如用行星運(yùn)動(dòng)方式,這種運(yùn)動(dòng)方式成膜均勻性好,臺(tái)階覆蓋性能良好,鍍件裝載量大,可以充分利用真空鍍膜室的有效空間,是目前經(jīng)常采用的運(yùn)動(dòng)方式。 排氣系統(tǒng)一般由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、管道和閥門組成。為了提高抽氣速率,可在機(jī)械泵和擴(kuò)散泵之間加機(jī)械增壓泵。因此,排氣系統(tǒng)既要求在較短的時(shí)間內(nèi)獲得低氣壓以保證快速的工作循環(huán),也要求確保在蒸氣鍍膜時(shí)迅速排除從蒸發(fā)源和工作物表面所產(chǎn)生的氣體。
真空鍍膜機(jī)使用及保養(yǎng)注意事項(xiàng)
真空鍍膜機(jī)使用及保養(yǎng)注意事項(xiàng) 真空鍍膜機(jī)設(shè)備在運(yùn)輸中可能會(huì)出現(xiàn)這樣那樣的問題,所以在使用之前,一定要嚴(yán)格進(jìn)行檢查,以確保人身安全,那么在使用真空鍍膜機(jī)使用前具體是需要做好哪些檢查工作呢? 1.主機(jī)齒輪箱、牽引減速箱應(yīng)該時(shí)常加油,更換齒輪油。 2.新機(jī)請(qǐng)?jiān)谑褂?0天左右更換新齒輪油,以確保各轉(zhuǎn)動(dòng)部位正常運(yùn)轉(zhuǎn)。 3.注意加油,防止卡住和過熱損壞。 4.還應(yīng)檢查各連接部位的固緊情況,防止羅栓松動(dòng)。 5.泡管中的壓縮空氣應(yīng)保持適量。 6.啟動(dòng)主電機(jī)時(shí),應(yīng)先啟動(dòng)電機(jī)后慢慢加速;關(guān)閉主電機(jī),應(yīng)先減速后再關(guān)機(jī)。
鍍膜設(shè)備該選擇哪種主泵配置
鍍膜設(shè)備該選擇哪種主泵配置 真空系統(tǒng)在鍍膜設(shè)備行業(yè)中可謂是非常重要,是其不缺缺少的設(shè)備之一。目前常用的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式一般是由主泵及前級(jí)泵串聯(lián),加上閥門管道和真空測(cè)量?jī)x表組成。而所選的主泵基本上分為兩種形式,分別為有油真空和無油真空系統(tǒng)。 那么什么是有油真空系統(tǒng)和無油真空系統(tǒng)呢?下面小編來給大家介紹一下: 有油真空系統(tǒng)基本是以油擴(kuò)散泵為主泵,前級(jí)泵采用機(jī)械泵或者羅茨泵。我們知道,油擴(kuò)散泵的壓力方位比較大,同時(shí)抽氣速率非常的高,能夠達(dá)到每秒十幾萬升。其工作能力在業(yè)內(nèi)是數(shù)一數(shù)二的,這也得益于其具有良好的性能。從優(yōu)點(diǎn)上來講,有油真空系統(tǒng)工作可靠,沒有振動(dòng),沒有噪音,壽命長(zhǎng),維護(hù)建檔透支費(fèi)用低,是很多廠家都喜歡使用的。但是其缺點(diǎn)也非常的明顯,就是會(huì)形成污染源,大規(guī)格泵在這方面更加的嚴(yán)重。 無油真空西永是使用分子泵和低溫泵作為主泵的,其特點(diǎn)主要集中在能夠連續(xù)大量抽氣,可以獲得清潔無油的超高真空。并且該系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)間快,停泵時(shí)間短。但是該系統(tǒng)抽重氣體比抽輕氣體快,對(duì)水蒸氣類型的的抽速比較慢,當(dāng)氣體大量經(jīng)過泵的時(shí)候,抽速就會(huì)下降的很快。 這兩種真空鍍膜設(shè)備各有各的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn),使用者應(yīng)該考慮自己的需求來進(jìn)行選購(gòu)。