AB-13MFC Mass Flow Controller服務(wù)介紹 曉韜科技公司

質(zhì)量流量計(jì)的原理

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目前，國(guó)內(nèi)使用較為廣泛的是熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)。

其原理如下：“在直徑較細(xì)的感應(yīng)管中放置兩對(duì)加熱器，并將其控制在同一溫度。當(dāng)流體流動(dòng)時(shí)，氣體將上游的部分熱量帶給下游，而下游的加熱器從上方獲取熱量溫度上升。這時(shí)，利用上下加熱器之間產(chǎn)生的溫度差和流體的質(zhì)量流量成比例的原理，來(lái)測(cè)定流量?！保ǜ剑簈m=KCpA△T Cp定壓比熱容 A測(cè)量管繞組（即加熱系統(tǒng)）與周圍環(huán)境熱交換系統(tǒng)之間的熱傳導(dǎo)系數(shù)； K -------儀表常數(shù)）

質(zhì)量流量控制器的常見(jiàn)問(wèn)題

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實(shí)際使用中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)輸入的氣體不同時(shí)控制顯示的數(shù)值與實(shí)際不符，其實(shí)原因很簡(jiǎn)單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一種參數(shù)叫CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（下面簡(jiǎn)稱CF）。而MFC行業(yè)中又把N2（氮?dú)猓┒x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的C值為1.00，其他的氣體以氮?dú)鉃橹行?，分布?.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02（氧氣）、H2（氫氣）、F2（氟）等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話，簡(jiǎn)單的分析其比率，用各自的CF值計(jì)算即可。

假設(shè)某臺(tái)MFC是用N2標(biāo)定的，但是實(shí)際流過(guò)的氣體是He，實(shí)際的流量比N2多。各個(gè)廠家的He的CF值稍有不同，但大約都在1.4，所以簡(jiǎn)單的說(shuō)就是He氣相同示數(shù)時(shí)，是N2的1.4倍流量。反過(guò)來(lái)，如果N2流過(guò)He的MFC，實(shí)際的流量大約是1÷1.4=約0.71，少30%的流量。

因此控制器發(fā)現(xiàn)流量不準(zhǔn)時(shí)，考慮出廠標(biāo)定CF是否與你的氣源相同。

質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量

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質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量通過(guò)流量計(jì)的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測(cè)量介質(zhì)的密度及間接測(cè)量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機(jī)為核心的智能儀表，因此可根據(jù)上述三個(gè)基本量而導(dǎo)出十幾種參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計(jì)組態(tài)靈活，功能強(qiáng)大,性能價(jià)格比高，是新一代流量?jī)x表。

質(zhì)量流量計(jì)可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另一類為間接式或推導(dǎo)式，如應(yīng)用超聲流量計(jì)和密度計(jì)組合，對(duì)它們的輸出再進(jìn)行乘法運(yùn)算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計(jì)有多種類型，如量熱式、角動(dòng)量式、陀螺式和雙葉輪式等。