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真空機(jī)組選型

因在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中工作條件的不同，吸入氣體及壓力會發(fā)生很多變化，所以華誠浩達(dá)建議在選型時應(yīng)根據(jù)實(shí)際抽氣過程、氣體釋放過程、可凝性氣體冷凝情況、吸入壓力的時間變化等等進(jìn)行校核計(jì)算或參照現(xiàn)有設(shè)備使用情況選型。多少真空度，多少時間要達(dá)到這個真空度，環(huán)境是否需要無油，預(yù)算多少等等。比如說10的-4次方pa的真空，至少得上擴(kuò)散泵，如果需要無油環(huán)境還得上分子泵。

擴(kuò)散泵超高真空機(jī)組

以擴(kuò)散泵為主泵的超高真空機(jī)組的極限真空度為10-7~10-8Pa。

為減少來自擴(kuò)散泵前級的氣體反擴(kuò)散和阻擋機(jī)械泵油的反擴(kuò)散對極限真空度的影響，可在擴(kuò)散泵前級申聯(lián)一臺抽速小的擴(kuò)散泵，以降低壓縮比，減小反擴(kuò)散。如在擴(kuò)散泵進(jìn)氣口上邊增設(shè)鈦升華阱，可進(jìn)一步降低來自擴(kuò)散泵的氮?dú)夥謮毫?，能獲得10-11Pa的超高真空。

油封機(jī)械泵機(jī)組抽除可凝性氣體的措施

油封機(jī)械泵不適于抽除含有大量水蒸氣的氣體。水蒸氣在壓縮過程中會凝結(jié)成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵,并將泵的工作溫度控制在75~90℃之間,以減少氣鎮(zhèn)閥負(fù)擔(dān)在機(jī)組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,處理混有水的機(jī)械泵油,處理過的油再進(jìn)入泵中使用;用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸氣;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸氣,同時還可以阻擋機(jī)械泵向真空室的返流。