varian真空分子泵修復(fù)渦輪分子泵「在線咨詢」

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廣州潽拓光電——專業(yè)維修ALCATEL DRYTEL31高真空泵以及二手出售

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光刻機(jī)光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握，因此光刻機(jī)價格昂貴。光刻機(jī)光刻過程必須在高真空環(huán)境中實現(xiàn)，原因是極紫外光很嬌貴，在空氣中容易損耗。該泵的雙級設(shè)計使其可以在較低工作溫度下使用，并最da限度減少低壓強(qiáng)造成油蒸汽的回流現(xiàn)象，同時在10-2mbar的低壓范圍內(nèi)具有良好的抽氣速率和氣鎮(zhèn)效果。同時，在光刻過程中，設(shè)備的動作時間誤差以皮秒計，這對磁懸浮分子泵的振動值要求極高。 varian真空分子泵修復(fù)