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流量控制器優(yōu)點
熱式質(zhì)量流量器可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計更適合于大管徑。
熱式質(zhì)量流量計無活動部件,無分流管的熱分布式儀表無阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質(zhì)量流量計使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計算單元等,僅有流量傳感器,組成簡單,出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標定,直接就用空氣標定的儀表,實驗證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
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流量器安裝使用注意事項
前置直管段
1)熱分布式 本類儀表對上下游配管布置不敏感,通常認為無上下游直管段長度要求。國際標草案ISO/DIS 11451認為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響。然而BS 7405卻認為;①上下游直管段長度可小至2D;②在進口端置一金屬(或塑料)網(wǎng),可有效地改善流速分布畸變,得到分布均勻的氣流;③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生,這會引起儀表測量度的下降,嚴重時會導(dǎo)致儀表損壞。③要防止從小管徑突然擴大進入較大口徑儀表,要緩慢過渡。
2)浸入式 帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段,ISO/DIS 14511對此未作具體規(guī)定,而按制造廠建議的值。BS 7405建議對于在管道中用插入熱絲流速計時,需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。表4列舉Sierra公司對帶測量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長度;在被測流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下,若僅測量體積流量,則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。若在其進口端裝一塊或二快多孔板式流動調(diào)整器(整流器)后,則其長度可大為縮短。
流量控制器的主要優(yōu)點是什么?
(1) 流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。
對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器,則一般可以忽略不計。
(2) 測量控制的自動化
質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~ 5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。四、設(shè)備的精度高價位也會高,并且還需要精心的維護,在振動以及使用條件進行經(jīng)常檢查等,確保精度以及儀表的安全。
(3) 地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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流量控制器如何測混合氣體的流量?
質(zhì)量流量計是采用感熱式測量百,通過分體分子帶走熱量多少從而來測量流量,因為是用感度熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結(jié)果 。
即氣體流過加熱元件時將熱量帶走,帶走的熱量與氣體的流速問和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱答元件提供更多的功率,電路中輸出功率的大小與流體的質(zhì)量有關(guān),由此測量流專量。
此方法,日系發(fā)動機常用。
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