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真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜。真空鍍膜設(shè)備若有灰塵,將會影響真空鍍膜的效果和質(zhì)量。真空鍍膜工藝
真空鍍膜設(shè)備真空熱處理是指金屬制件在真空或先抽真空后通惰性氣體條件下加熱,然后在油或氣體中淬火冷卻的技術(shù)。采用通氣對流加熱方式還可使加熱均勻,減少表面和心部的溫差,從而也減少畸變。
真空鍍膜應(yīng)用是真空應(yīng)用中的一個大分支,在光學、電子學、理化儀器、包裝、機械以及表面處理技術(shù)等眾多方面有著十分廣泛的應(yīng)用。
真空鍍膜技術(shù)具有下列優(yōu)點:
薄膜和基體選材廣泛,薄膜厚度可進行控制,薄膜與基體結(jié)合強度好,薄膜牢固。
鍍膜技術(shù)都需要一個特定的真空環(huán)境,以保證制膜材料在加熱蒸發(fā)或濺射過程中所形成蒸氣分子的運動,不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾。
由于在真空條件下制膜,所以薄膜的純度高、密實性好、表面光亮不需要再加工,這就使得薄膜的力學性能和化學性能比電鍍膜和化學膜好。
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個重要因素。薄膜的成膜過程,是一個物質(zhì)形態(tài)的轉(zhuǎn)變過程,不可避免地在成膜后的膜層中會有應(yīng)力存在,對于多層膜來說有不同膜料的組合,各膜層體現(xiàn)出的應(yīng)力是有所不同的,有的是張應(yīng)力、有的是壓應(yīng)力,還有膜層及基片的熱應(yīng)力。
輔助氣體的充入要考慮膜料的放氣,鍍前對膜料充分預(yù)熔充分放氣,也可以避免由于蒸鍍中膜料放氣造成真空度過度下降,從而影響膜強度。