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真空檢漏向各個加熱電極、爐體水套等通水腔體內噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格,可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進行包裹罩封,然后向罩中噴入氮氣,觀察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點。極限壓力不合格,升壓率合格這種情況原因通常出現在粗抽閥到機械泵部分的各個連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
檢漏儀主要技術指標:小可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s。漏率顯圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s檢漏儀優(yōu)勢特點:采用便攜式設計,設備外型美觀小巧,采用液晶觸摸屏設計,有通訊接口,可以方便地將檢漏數據輸出檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇:無害,不能對人體或環(huán)境造成傷害;質量輕,惰性氣體,穿透能力強,能穿透微小細縫;化學性質穩(wěn)定,不會引起化學反應;
質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每1-2小時校驗。檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數量級。首先將設備穩(wěn)固的置于明亮、透風良好的場所,連接好檢漏用管路及壓力表,應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。檢漏主要領域:電力工業(yè)——高壓開關、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng);電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路;