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電子束簡介
以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)電子束產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
電子經(jīng)過匯集成束。具有高能量密度。它是利用電子槍中陰極所產(chǎn)生的電子在陰陽極間的高壓(25-300kV)加速電場作用下被加速至很高的速度(0.3-0.7倍光速),經(jīng)透鏡會聚作用后,形成密集的高速電子流。
電子束【釋義】:又稱電子注。在真空匯集成束。可采用靜電場聚焦,磁場聚焦等方法。電子顯微鏡和電視機就是利用電子束形成影像的。
電子束蒸發(fā)鍍膜機各部件介紹
1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度:室溫-150℃。(在10-4Pa時,真空室內(nèi)殘余氣體的組合,水蒸汽約占 90%以上,因此在該壓強下進行蒸鍍,實際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜,為了減少水份,提高真空室溫,使水分解,是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法)。
2、電控柜:標(biāo)準(zhǔn)電控柜,組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制(分子泵、機械泵電源、擋板等)、數(shù)顯真空計等。柜底下配腳輪,方便移動、定位。
3、手動按鈕式操作,備留機電轉(zhuǎn)換及控制接口,方便實驗記錄.
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電子束鍍膜機介紹
* 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積
* 行星式基片夾具
* 基片RF/DC偏壓
* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍
* 附加物理沉積源(熱蒸鍍,磁控濺射)
* 用于反應(yīng)蒸鍍的MFC
* 不同的泵組選擇,可升級分子泵為冷泵,前級泵為干泵
* 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾
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