半導(dǎo)體手套箱信賴推薦

手套箱功能

1、密閉循環(huán)：真空手套箱和氣體凈化系統(tǒng)構(gòu)成一個(gè)密閉的循環(huán)系統(tǒng)，由氣體凈化系統(tǒng)提供氣體循環(huán)動(dòng)力。

2、人機(jī)對(duì)話：配置彩色觸摸屏，中文界面，實(shí)現(xiàn)人機(jī)對(duì)話，操作便捷

3、自動(dòng)控制（由彩色觸摸屏的人機(jī)界面和PLC程序控制系統(tǒng)集成對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行控制）

實(shí)現(xiàn)功能：手/自動(dòng)控制箱體壓力；

手/自動(dòng)控制氣體凈化系統(tǒng)的凈化狀態(tài)；

自動(dòng)控制氣體凈化系統(tǒng)的還原過(guò)程；

手/自動(dòng)凈化系統(tǒng)還原、凈化及轉(zhuǎn)換凈化柱（配置雙凈化柱時(shí)）；

自動(dòng)箱體氣氛?qǐng)?bào)警；

箱體內(nèi)氣氛和壓力參數(shù)設(shè)置和手/自動(dòng)轉(zhuǎn)換；

氣體凈化系統(tǒng)自動(dòng)控制功能的參數(shù)設(shè)置；

查閱系統(tǒng)歷史紀(jì)錄；

氣體凈化系統(tǒng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)工況檢測(cè)；

程序控制系統(tǒng)的操作錯(cuò)誤和警告提示

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手套箱的日常維護(hù)保養(yǎng)

1.注意：通電后，若有無(wú)法啟動(dòng)的問(wèn)題，一種可能性是因?yàn)檎婵毡秒娫淳€連接松動(dòng)，另一種原因是真空泵自身的開(kāi)關(guān)未開(kāi)啟。

2.要樣品放入手套箱時(shí)，盡量使用小過(guò)渡艙，打開(kāi)過(guò)渡艙門(mén)前需先注意閥門(mén)腔上的壓力表指針是否在零的位置。若是，則可直接打開(kāi)；若否，則需先將閥門(mén)腔下的開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)至“填充”的位置，使氣體進(jìn)入手套箱過(guò)渡艙內(nèi)，再將開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)回中間位置，此時(shí)可以打開(kāi)過(guò)渡艙門(mén)將樣品放入，再將艙門(mén)關(guān)上。放置樣品時(shí)，需小心不要用手觸摸過(guò)渡艙內(nèi)壁，請(qǐng)佩戴手套取放樣品。辦法：①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常，箱體真空閥或補(bǔ)1氣閥是否損壞，壓力回復(fù)正常后，再開(kāi)啟分析儀和循環(huán)。

手套箱常見(jiàn)故障及解決辦法

1、循環(huán)和分析儀同時(shí)關(guān)掉

原因：①箱內(nèi)壓力瞬間過(guò)高，超過(guò) 12mbar，系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)；②電壓不穩(wěn)，造成系統(tǒng)保護(hù)。

辦法：①檢查壓力設(shè)置是否正確、壓力傳感器是否異常，箱體真空閥或補(bǔ)1氣閥是否損壞，壓力回復(fù)正常后，再開(kāi)啟分析儀和循環(huán)。②檢查真空泵是否壞掉，無(wú)法運(yùn)行。

2、大、小倉(cāng)無(wú)法補(bǔ)1氣

原因：①手套箱內(nèi)通往大小倉(cāng)的氣孔可能被塑料薄膜等堵塞；②電磁閥是否沒(méi)有打開(kāi)。

辦法：①根據(jù)管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②檢查線路及電磁閥。

3、大小倉(cāng)無(wú)法抽氣

原因：①大小倉(cāng)內(nèi)抽氣孔被塑料薄膜等堵塞或艙門(mén)漏氣；②倉(cāng)門(mén)沒(méi)關(guān)緊，或是大小倉(cāng)密封圈松動(dòng)。

辦法：①根據(jù)管路走向，確定氣孔位置，疏通管路；②關(guān)緊倉(cāng)門(mén)，檢查大小密封圈；③檢查工作氣壓是否過(guò)低（因?yàn)榇髠}(cāng)抽氣閥是氣動(dòng)閥）。