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黃浦區(qū)工廠無塵室設(shè)備定位公司聯(lián)系方式專業(yè)團隊在線服務(wù)“本信息長期有效”

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發(fā)布時間:2020-10-06 12:00  

     復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。


   無塵室內(nèi)防止微粒子污染的基本原則:

    不發(fā)生

  在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應(yīng)采取以下對策:

  減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);

  采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);

  采用發(fā)塵小的潤滑油;

  機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。




  若能徹底實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。


  蘇州卓宇泰公司主營設(shè)備搬遷、設(shè)備包裝,設(shè)備安裝,設(shè)備吊裝,大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。

   無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。1、無塵室廠區(qū)總圖布局應(yīng)考慮產(chǎn)品工藝特點和防止交叉污染,按生產(chǎn)、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。


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