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復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉費用。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產車間所要求的生產潔凈環(huán)境。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
無塵室內防止微粒子污染的基本原則:
不發(fā)生
在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時,也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策:
減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
采用磨耗發(fā)塵小的材質;
采用發(fā)塵小的潤滑油;
機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
若能徹底實施“不攜入”技術,無塵室內的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求??刂茪饬骺煞乐刮⒘W永鄯e,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進行除電。
蘇州卓宇泰公司主營設備搬遷、設備包裝,設備安裝,設備吊裝,大型廠房搬遷等業(yè)務。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。1、無塵室廠區(qū)總圖布局應考慮產品工藝特點和防止交叉污染,按生產、行政、生活和輔助區(qū)等合理布局,不得互相防礙。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。