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烘箱又稱干燥爐、電熱鼓風烘箱、熱風循環(huán)烘箱等。這是一種在固定的盒子里控制恒溫的裝置。
工業(yè)和科學研究中使用的烤箱不同于家庭主婦使用的廚房燒烤烤箱,后者不用于烘烤食物。工業(yè)烘箱溫度范圍寬,控溫精度高,長期穩(wěn)定運行,甚至可以選擇帶真空功能的真空烘箱。上述特性決定了它可以廣泛用于高溫實驗、熱處理和干燥處理的各種目的。2、檢查溫控器是否準確,假如不準確的話,要及時調(diào)整溫控器的傳感器修正值或者是靜態(tài)補償。有許多行業(yè)需要它,如化工、電子通訊、塑料、電纜、電鍍、五金、汽車、光電、橡膠制品、模具、噴涂、印刷、航空航天等行業(yè)。從事這些行業(yè)的朋友會不時使用我們的干燥箱進行各種測試和實驗。
真空箱注意事項:
真空箱經(jīng)多次使用后,會產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象,此時應更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來解決。烤箱設備放置處要有一定的空間,四面離墻體要有一定距離,建議要有2M以上。當真空箱干燥溫度高于200℃時,會產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象(除6050、6050B、6051、6053外),此時拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手擰松加熱器底座,調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。
放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難,可在內(nèi)涂上適量油脂潤滑。(如凡士林)
除維修外,不能拆開左側(cè)箱體蓋(6090及6210型除外)以免損壞電器控制系統(tǒng)。
真空箱應經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭,應用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長期不用,將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂,以防腐蝕,并套上塑料薄膜防塵罩,放置于干燥的室內(nèi),以免電器元件受潮損壞,影響使用。
熱風循環(huán)烘箱在光刻中的應用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力,防止顯影時間的延長,防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。熱風循環(huán)烘箱——真空干燥箱使用方法真空箱調(diào)試在真空度調(diào)試完畢后,可作如下操作:a。首先,采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油,將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面,然后時間設定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下,光刻膠表面均勻分散,去除多余的光刻膠,獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度,預干燥由于溶劑緩蝕劑作用,在80℃的硅片上,防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體,干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。
2、掩碼對齊
由于集成電路的制造過程是吳層的過程,所以每個層的位置不能移動。熱風循環(huán)烘箱吳般有加熱管,有循環(huán)風機的烘箱都可稱為熱風循環(huán)烘箱,因為不管烘箱什么結(jié)構,風向水平還是垂直,歸根到底都是熱風在里面循環(huán),所以都可通稱為熱風循環(huán)烘箱,如電熱鼓風烘箱,對開門高溫滅菌烘箱等。若提高物料的初溫、經(jīng)真空過濾前處理、降低物料含濕量等,均能提高真空干燥速度。掩模和晶片可以對齊在晶片上。