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微孔加工。但是,電火花加工的速度極低,加工的成本比較高,用于加工小孔的電極銅工的電子束功率密度高,可加工高硬度、高強(qiáng)度、高韌性、高脆性、高熔點(diǎn)的金屬材料和非金屬材料,加工使用的功率密度大約為109W/cm2,能量可集聚成φ1μm以下的光斑,故可加工數(shù)微米的孔,孔的加工效率很高,這主要取決于被加工件的移動(dòng)速度。能實(shí)現(xiàn)通過(guò)磁場(chǎng)或電場(chǎng)對(duì)電子束的強(qiáng)度、位置進(jìn)行直接控制,便于實(shí)行自動(dòng)化加工,主要用于園孔加工,也可用于加工異形孔、錐孔、窄縫等。該種工藝方法屬于非接觸加工,因此工件本身不受機(jī)械力作用,不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。在真空狀態(tài)下進(jìn)行,特別適合于加工易氧化的材料或純度要求高的單晶體、半導(dǎo)體等材料。
鑒于上述原因,本試驗(yàn)采取第二種微小孔加工方法:加工好兩塊平板,將它們合緊后沿兩板的接觸面打騎縫孔,然后把兩平板分開(kāi),直接測(cè)量暴露在外的微小孔內(nèi)表面。采用這種方法測(cè)得的微小孔內(nèi)壁的粗糙度能準(zhǔn)確地反映微小孔內(nèi)表面的實(shí)際加工情況。
鉆孔時(shí),兩平板全長(zhǎng)采用平口鉗夾緊,以避免激光打孔時(shí)平板彎曲或受力不均勻。在激光打孔裝置上設(shè)有放大倍數(shù)為57倍的顯微放大裝置,可以較清晰地觀察兩平板的接觸面,故可較好的保證激光光束與平板接觸面的相對(duì)位置并保證沿接觸面打騎縫孔。平板接觸面和加工工作臺(tái)的垂直度可通過(guò)調(diào)整來(lái)保證。
為此,它至少含有激光聚焦裝置和觀察瞄準(zhǔn)裝置兩個(gè)部分。投影系統(tǒng)用來(lái)顯示工件背面情況。工作臺(tái)則由人工控制或采用數(shù)控裝置控制,在三坐標(biāo)方向移動(dòng),方便又準(zhǔn)確地調(diào)整工件位置。工作臺(tái)上加工區(qū)的臺(tái)面一般用玻璃制成,因?yàn)椴煌腹獾慕饘倥_(tái)面會(huì)給檢測(cè)帶來(lái)不便,而且臺(tái)面會(huì)在工件被打穿后遭受破壞。工作臺(tái)上方的聚焦物鏡下設(shè)有吸、吹氣裝置,以保持工作表面和聚焦物鏡的清潔。
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