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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。
主要用途:
用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。
脈沖激光沉積選件介紹
激光分子束外延(Laser MBE )
激光MBE 是普遍采用的術(shù)語(yǔ),該法是一種納米尺度薄膜合成的理想方法,高真空下的PLD 與在線工藝監(jiān)測(cè)的反射高能電子衍射(RHEED)的聯(lián)合應(yīng)用,用戶提供了類似于MBE 的薄膜生長(zhǎng)的單分子水平控制。
正確的設(shè)計(jì)是成功使用RHEED 和PLD 的重要因數(shù)
RHEED 通常在高真空(<10-6 torr)環(huán)境下使用。然而,因?yàn)樵谀承┨厥馇闆r下,PLD 采用較高的壓力,差動(dòng)抽氣是必要的,
維持RHEED 槍的工作壓力,同時(shí)保持500 mTorr 的PLD 工藝壓力。同時(shí),設(shè)計(jì)完整的系統(tǒng)消除磁場(chǎng)對(duì)電子束的影響是至關(guān)重要的。Neocera 的激光MBE 系統(tǒng)可以為用戶提供在壓力達(dá)到500 mTorr 時(shí)所需的單分子層控制。
以上內(nèi)容由沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您提供,希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助!
常規(guī)沉積條件下的組合合成
脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):
可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過(guò)程無(wú)需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價(jià)比高;
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司擁有先進(jìn)的技術(shù),我們都以質(zhì)量為本,信譽(yù)高,我們竭誠(chéng)歡迎廣大的顧客來(lái)公司洽談業(yè)務(wù)。如果您對(duì)脈沖激光沉積感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。