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知識點一:超純水設(shè)備的工作原理。
超純水設(shè)備是如何制取超純水的呢?其主要是對水施加一定的壓力使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無機鹽、有機物以及細菌、病毒等無法截留在反滲透膜一側(cè),從而產(chǎn)出超純水。
知識點二:超純水設(shè)備的組成部分。
超純水設(shè)備通常是由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,精密過濾器等構(gòu)成預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成。
超純水的水質(zhì)直接關(guān)系到半導體成品率
在半導體生產(chǎn)中,天津電子純水設(shè)備,超純水可用于晶圓漂洗、化學稀釋、化學機械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕源等。超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導體的成品率,隨著半導體元件尺寸的縮小和細度的提高,對超純水質(zhì)量的技術(shù)要求也在不斷提高。
在超純水生產(chǎn)過程中,只要微粒子、電阻率和TOC與氣泡中的某一指標稍有差異,就會使半導體元件生產(chǎn)的合格率下降。
原因一:顆?;蚴悄z體堵塞
進水顆粒度>5um時會造成進水流道堵塞,電子純水設(shè)備報價,引起模塊內(nèi)部水分分部不均勻,從而導致模塊整體性能降低。
建議:在進入EDI模塊前段增設(shè)保安過濾器(<0.2um)。
原因二:有機物堵塞
當進水有機物污染TOC或TEA含量超過設(shè)計標準時,淡水室的離子交換樹脂和離子膜會發(fā)生有機物的堵塞。
建議:采用高PH值的對淡水室及濃水室循環(huán)清洗。
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