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(7)在亞微米級(jí)集成電路生產(chǎn)中,要求提供10-9級(jí)高純氣體。為了保證結(jié)束氣體處理設(shè)備的氣體純度,應(yīng)提高氣體中的雜質(zhì)含量(包含塵粒)控制在規(guī)定值內(nèi),一般在設(shè)備前設(shè)置終端凈化設(shè)備或終端高精度氣體過(guò)濾器。每種氣體都有自身的能量,有的是對(duì)人們有利的,高純氧氣廠,但有的氣體確是對(duì)人們有害的,平??吹碾娨晞‰娪?,諜戰(zhàn)的那種,很多里面都會(huì)有這些風(fēng)險(xiǎn)氣體,可見(jiàn),東西都要用對(duì)當(dāng)?shù)?,這樣才干發(fā)揮作用,那么高純氦氣是怎么樣的一種氣體呢?關(guān)于它的注意事項(xiàng)又是什么呢?
-180℃時(shí)0.729g/cm3液體熱膨脹系數(shù),高純氧氣,-180℃時(shí)0.007531/℃表面張力,-210℃時(shí)12.2×10-3N/m,12.2dyn/cm氣體密度,101.325kPa(atm)和70oF(21.1℃)時(shí)1.160kg/m3,0.0724lb/ft3氣體相對(duì)密度。101.325kPa(1atm)和70oF時(shí)(空氣=1)0.967汽化熱,沸點(diǎn)下202.76kJ/kg,高純氧氣99.99%,87.19BTU/1b熔化熱,熔點(diǎn)下25.7kJ/kg,11.05BTU/1b氣體定壓比熱容cp,25℃時(shí)1.038kJ/(kg·k)0.248BTU/(1b·R)氣體定容比熱容cp,25℃時(shí)0.741kJ/(kg·k),0.177BTU/(1b·R)氣體比熱容比,cp/cv1.401液體比熱容,-183℃時(shí)2.13kJ/(kg·k),0.509BTU/(1b·R)因體比熱容,高純氧氣標(biāo)準(zhǔn),-223℃時(shí)1.489kJ/(kg·k)
氦氣是一種無(wú)色、無(wú)嗅、無(wú)味的惰性氣體,分子量4.00,在21.1℃和101.33kPa下氣體比重為0.138,沸點(diǎn)為-268.9℃,氣體密度0.165kg/m3(21.1℃、101.33kPa)。臨界溫度-267.9℃;臨界壓力227kPa;臨界密度69.64kg/m3;在沸點(diǎn)溫度和101.33kPa下液體密度。氦氣不可燃、無(wú)毒、微溶于水,是一種簡(jiǎn)單的窒息劑,可以氣態(tài)或液態(tài)裝運(yùn)。
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