真空機組-明勝機電-無油真空機組

單級旋片真空機組是選用壹臺X型單級旋片式真空泵進行合理組合，配上緩沖儲氣罐和

配電箱，成為一套新型的全自動真空度控制的真空設(shè)備，從而彌補了原來真空泵在使用上的

不足。

   本真空機組的控制系統(tǒng)有手動檔和自動檔兩種：

   手動擋：通過開關(guān)按鈕來控制真空機組的運行與停止，真空機組，即按下啟動開關(guān)，真空機組機會不

       停止的運行，旋片真空機組，按下停止開關(guān)真空機組便停止工作。

   自動擋：把旋鈕開關(guān)旋至“自動”，真空泵就會啟動，直至達到真空表設(shè)置的上限，真空機

      組就會停止運行。隨著真空的使用，當(dāng)真空度降低到真空表設(shè)置的真空度下，

      真空機組就會自動啟動，達到真空度上限才會停止運行，如此循環(huán)往復(fù)。此種功能

      特別適用在用氣量不大的場合。

優(yōu)點：

1， 加大抽氣量，無油真空機組，由壹臺真空泵和一個緩沖儲氣罐的組合就可以增加總的（瞬時）抽氣量。

2，節(jié)約電能源，由一個緩沖儲氣罐，配上真空表的控制就可以節(jié)約能源

3，提高使用壽命，真空泵使用可降低真空泵的溫升，泵不會過熱；真空表控制真空可以減少

真空泵運行時間；緩沖儲氣罐加上進氣過濾器可以減少異物和微顆粒狀固體進入真空泵。

4，泵返油，機組設(shè)計了阻油結(jié)構(gòu)，整個抽氣裝置在停止運行時，真空泵油不會返到被抽

容器里去。

真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。

該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道，即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成，以觸摸屏為人機界面，實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。

漏孔校準(zhǔn)采用四極質(zhì)譜比對法校準(zhǔn)。比對法校準(zhǔn)較小漏率真空漏孔時，為了得到與被校漏孔相同或相近的氣體流量，干式真空機組，一般采用固定流導(dǎo)法作為標(biāo)準(zhǔn)氣體流量獲得的手段，該方法具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、測量不確定度小、校準(zhǔn)精度高等優(yōu)點。

　　原理為利用已知流量的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，通過穩(wěn)壓室壓力的調(diào)節(jié)，向雙球校準(zhǔn)室注入穩(wěn)定流量的氣體，并利用分子泵機組對真空校準(zhǔn)室持續(xù)抽氣，并通過微調(diào)閥調(diào)節(jié)氣體的流量，使校準(zhǔn)室壓力維持在合適的校準(zhǔn)壓力范圍內(nèi)，為校準(zhǔn)室建立起漏孔氣體的動態(tài)平衡。首先利用四極質(zhì)譜計獲得標(biāo)準(zhǔn)漏孔的離子流參數(shù)，再切換到被較漏孔，獲得被較漏孔狀態(tài)下的四極質(zhì)譜計離子流。通過公式(1)計算得出被較漏孔漏率數(shù)值。

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