真空機(jī)組-明勝機(jī)電-無油真空機(jī)組

單級(jí)旋片真空機(jī)組是選用壹臺(tái)X型單級(jí)旋片式真空泵進(jìn)行合理組合，配上緩沖儲(chǔ)氣罐和

配電箱，成為一套新型的全自動(dòng)真空度控制的真空設(shè)備，從而彌補(bǔ)了原來真空泵在使用上的

不足。

   本真空機(jī)組的控制系統(tǒng)有手動(dòng)檔和自動(dòng)檔兩種：

   手動(dòng)擋：通過開關(guān)按鈕來控制真空機(jī)組的運(yùn)行與停止，真空機(jī)組，即按下啟動(dòng)開關(guān)，真空機(jī)組機(jī)會(huì)不

       停止的運(yùn)行，旋片真空機(jī)組，按下停止開關(guān)真空機(jī)組便停止工作。

   自動(dòng)擋：把旋鈕開關(guān)旋至“自動(dòng)”，真空泵就會(huì)啟動(dòng)，直至達(dá)到真空表設(shè)置的上限，真空機(jī)

      組就會(huì)停止運(yùn)行。隨著真空的使用，當(dāng)真空度降低到真空表設(shè)置的真空度下，

      真空機(jī)組就會(huì)自動(dòng)啟動(dòng)，達(dá)到真空度上限才會(huì)停止運(yùn)行，如此循環(huán)往復(fù)。此種功能

      特別適用在用氣量不大的場(chǎng)合。

優(yōu)點(diǎn)：

1， 加大抽氣量，無油真空機(jī)組，由壹臺(tái)真空泵和一個(gè)緩沖儲(chǔ)氣罐的組合就可以增加總的（瞬時(shí)）抽氣量。

2，節(jié)約電能源，由一個(gè)緩沖儲(chǔ)氣罐，配上真空表的控制就可以節(jié)約能源

3，提高使用壽命，真空泵使用可降低真空泵的溫升，泵不會(huì)過熱；真空表控制真空可以減少

真空泵運(yùn)行時(shí)間；緩沖儲(chǔ)氣罐加上進(jìn)氣過濾器可以減少異物和微顆粒狀固體進(jìn)入真空泵。

4，泵返油，機(jī)組設(shè)計(jì)了阻油結(jié)構(gòu)，整個(gè)抽氣裝置在停止運(yùn)行時(shí)，真空泵油不會(huì)返到被抽

容器里去。

真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

該真空系統(tǒng)出廠時(shí)已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運(yùn)行數(shù)據(jù)顯示、運(yùn)行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行簡(jiǎn)單的連接電源和管道，即可以組成一個(gè)完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成，以觸摸屏為人機(jī)界面，實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。

漏孔校準(zhǔn)采用四極質(zhì)譜比對(duì)法校準(zhǔn)。比對(duì)法校準(zhǔn)較小漏率真空漏孔時(shí)，為了得到與被校漏孔相同或相近的氣體流量，干式真空機(jī)組，一般采用固定流導(dǎo)法作為標(biāo)準(zhǔn)氣體流量獲得的手段，該方法具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、測(cè)量不確定度小、校準(zhǔn)精度高等優(yōu)點(diǎn)。

　　原理為利用已知流量的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，通過穩(wěn)壓室壓力的調(diào)節(jié)，向雙球校準(zhǔn)室注入穩(wěn)定流量的氣體，并利用分子泵機(jī)組對(duì)真空校準(zhǔn)室持續(xù)抽氣，并通過微調(diào)閥調(diào)節(jié)氣體的流量，使校準(zhǔn)室壓力維持在合適的校準(zhǔn)壓力范圍內(nèi)，為校準(zhǔn)室建立起漏孔氣體的動(dòng)態(tài)平衡。首先利用四極質(zhì)譜計(jì)獲得標(biāo)準(zhǔn)漏孔的離子流參數(shù)，再切換到被較漏孔，獲得被較漏孔狀態(tài)下的四極質(zhì)譜計(jì)離子流。通過公式(1)計(jì)算得出被較漏孔漏率數(shù)值。

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