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PLD450型脈沖激光鍍膜介紹
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——脈沖激光沉積供應(yīng)商,激光脈沖沉積裝置,我們?yōu)槟鷰?lái)以下信息。
主要用途:
用于制備超導(dǎo)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、超硬薄膜等。適用于各大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備?! ?/p>
系統(tǒng)組成:
主要由濺射真空室、旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)、基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。
脈沖激光沉積選件介紹
沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——生產(chǎn)、銷售脈沖激光沉積,我們公司堅(jiān)持用戶為上帝,想用戶之所想,急用戶之所急,以誠(chéng)為本,講求信譽(yù),以產(chǎn)品求發(fā)展,以質(zhì)量求生存,激光脈沖沉積裝置廠家,我們熱誠(chéng)地歡迎各位同仁合作共創(chuàng)輝煌。
連續(xù)組成擴(kuò)展(CCS )
常規(guī)沉積條件下的組合合成
組合合成是一種基于脈沖激光沉積的、組合材料合成的新型連續(xù)組成擴(kuò)展(CCS) 方法。PLD-CCS 系統(tǒng)能以連續(xù)的方式改變材料,沒有必要使用掩模??梢栽诿恳淮窝h(huán)中,以小于一個(gè)單分子層的速率,快速連續(xù)沉積每一種組份,其結(jié)果是基本等同于共沉積法。該法無(wú)需在沉積后進(jìn)行退火促進(jìn)內(nèi)部擴(kuò)散或結(jié)晶,對(duì)于生長(zhǎng)溫度是關(guān)鍵參數(shù)的研究或者被沉積的材料或基片不適合高溫退火的情況是有用的。
PLD 主要選件
離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹
離子輔助沉積已經(jīng)成為在無(wú)規(guī)取向的基片或無(wú)定形基片上沉積雙軸結(jié)構(gòu)薄膜的一種重要技術(shù)。Neocera 開發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復(fù)雜材料方面的優(yōu)勢(shì)與IBAD 能力結(jié)合在一起。
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