非標(biāo)定制價(jià)格-非標(biāo)定制-沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)公司(查看)

非標(biāo)定制各種真空腔體

1.腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體，弧焊接，表面特殊工藝，拋光處理，外表美觀，

2.按ISO9001質(zhì)量管理體系組織設(shè)計(jì)、加工、裝調(diào)、檢驗(yàn)、包裝、運(yùn)輸；

3.提供該設(shè)備的技術(shù)檢測(cè)報(bào)告；

4. 腔體設(shè)有快開(kāi)進(jìn)樣門(mén)，鉸鏈機(jī)構(gòu)，非標(biāo)定制價(jià)格，移動(dòng)靈活，快開(kāi)門(mén)密封件材質(zhì)采用氟橡膠；

5. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶(hù)需求定制；

6. 腔室內(nèi)外超聲波清洗，表面清潔；

6. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;

8. 配合適的真空系統(tǒng)，非標(biāo)定制多少錢(qián)，真空度可進(jìn)入10-6Pa；

9. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；

以上就是真空腔體加工的相關(guān)內(nèi)容介紹，如有需求，歡迎撥打圖片上的熱線(xiàn)電話(huà)或關(guān)注沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司！

真空腔體烘烤注意事項(xiàng)

真空腔體烘烤時(shí)的真空度變化結(jié)果，烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當(dāng)真空度達(dá)到約10-3 Pa時(shí)，開(kāi)始給加熱帶逐漸通電加熱，保持腔體在150℃下進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間烘烤。烘烤過(guò)程中關(guān)閉離子泵，同時(shí)也給離子泵通電進(jìn)行加熱烘烤，這時(shí)的真空腔體只靠分子泵和前級(jí)泵來(lái)排氣。隨著腔體溫度的升高，腔體內(nèi)表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出，真空度會(huì)迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時(shí)間的延長(zhǎng)而逐漸減少，因此真空度也逐步好轉(zhuǎn)。停止烘烤時(shí)，切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源，然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對(duì)鈦升華泵進(jìn)行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱，但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物，以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后，非標(biāo)定制，啟動(dòng)離子泵和鈦升華泵，加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少，系統(tǒng)的真空度會(huì)迅速好轉(zhuǎn)。

新完成的腔體一次烘烤時(shí)，一般需要一周時(shí)間，重復(fù)烘烤后單獨(dú)的烘烤時(shí)間可以適當(dāng)減少。為了地測(cè)量真空度，停止烘烤后也應(yīng)該對(duì)真空計(jì)進(jìn)行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時(shí)間充足的話(huà)，烘烤后真空度可提升幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

真空腔體中抽氣管道的設(shè)計(jì)原則

工藝室的抽氣速率將低于泵入口的抽氣速率，相差多少取決于抽氣管道的屬性(例如長(zhǎng)度和尺寸)。盡量降低工藝室和泵入口之間的壓力差就可以使抽氣速率損失減到少。

顯然，抽氣管道的屬性對(duì)于性能十分關(guān)鍵。此時(shí)還需要考慮其它因素：流導(dǎo)。

我們采用流導(dǎo)(阻力的倒數(shù))這一術(shù)語(yǔ)來(lái)定義“管道傳遞流動(dòng)的能力”。流導(dǎo)的計(jì)量單位是每單位時(shí)間的體積并且和抽氣速率的單位相同。工藝室抽氣速率(S)可用抽氣管道流導(dǎo)(C)和應(yīng)用泵速(Sp)計(jì)算，如下所示：

S = (Sp*C)/(Sp C)

當(dāng)C遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于Sp時(shí)，則S近似為Sp；當(dāng)Sp遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于C時(shí)，非標(biāo)定制廠(chǎng)，則S近似為C。真空腔體

工藝室的抽氣速率始終低于應(yīng)用泵速而且低于抽氣管道中部件的小流導(dǎo)(通常為小直徑)。

在某種程度上管道短而粗是好的

采用短的大直徑抽氣管道盡量提高管道流導(dǎo)是不錯(cuò)的做法，但只限于當(dāng)抽氣速度S接近泵速(Sp)極值的情況。

除此之外，通過(guò)增加管道直徑(成本也會(huì)相應(yīng)增加)來(lái)增加流導(dǎo)并不能顯著提高工藝室抽氣速率；換而言之，如果抽氣管道流導(dǎo)受限并且由于物理因素不能增加，當(dāng)(S)接近管道流導(dǎo)(C)極值，一味通過(guò)增加應(yīng)用泵速來(lái)提高工藝抽氣速度也是不經(jīng)濟(jì)的。

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