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真空鍍膜機是如何操作真空電阻式蒸發(fā)鍍膜機的
隨著真空鍍膜機的工藝發(fā)展不斷革新,而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計向著多元化、多層膜的方向發(fā)展。成為現(xiàn)代企業(yè)優(yōu)選的鍍膜工藝。今天我們通過中國真空協(xié)會的剖析后,給予詳細作答。其實鍍膜機的正常操作方法應(yīng)該參考操作手冊的指示操作。
不過大致的操作程序,我們簡單的說一下吧:
1、檢查真空鍍膜設(shè)備各操作控制開關(guān)是否在;關(guān)位置。
2、打開總電源開關(guān),真空鍍膜設(shè)備送電。
3、低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動升鐘罩閥,鐘罩升起。
4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,保證無任何雜質(zhì)污物。
5、落下鐘罩。
6、啟動真空鍍膜設(shè)備抽真空機械泵。
7、開復(fù)合真空計電源(復(fù)合真空計型號:Fzh-1A)。
8、多弧離子鍍膜機當(dāng)?shù)驼婵毡?amp;ldquo;2”內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時,低壓閥推入。
9、真空鍍膜設(shè)備開通冷卻水,啟動擴散泵,加熱40min。
10、低壓閥拉出。立式單開門鍍膜機重復(fù)一次⑦動作程序:左下旋鈕;轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表;內(nèi)指針順時針移動,當(dāng)指針移動至6.7Pa時,開高壓閥。
真空鍍膜機薄膜均勻性概念
1.厚度上的均勻性:也能夠理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的標(biāo)準(zhǔn)上看(也即是1/10波長作為單位,約為100A),真空鍍膜機的均勻性現(xiàn)已相當(dāng)好,能夠輕松將粗糙度操控在可見光波長的1/10范圍內(nèi),也即是說關(guān)于薄膜的光學(xué)特性來說,真空鍍膜沒有任何妨礙。
2.化學(xué)組分上的均勻性:即是說在薄膜中,化合物的原子組分會由于標(biāo)準(zhǔn)過小而很簡單的發(fā)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,假如鍍膜進程不科學(xué),那么實踐外表的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的份額,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技能含量地點。
3.晶格有序度的均勻性:這決議了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技能中的熱點問題。
真空鍍膜機原理和各部件分析
真空鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。至成真空科技從事真空鍍膜設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)團隊及的售后服務(wù)隊伍為您解決設(shè)備在使用過程中遇到的任何問題。
真空主體——真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應(yīng)用多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼"target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統(tǒng):排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵 羅茨泵 低溫冷阱 polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動作。
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