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真空鍍膜設(shè)備選購要點分析

真空鍍膜設(shè)備選購要點分析如下：

1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

3、夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求，轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

4、真空系統(tǒng)由機械泵、擴散泵、油增壓泵、增擴泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動、手動、電動閥門、管道等組成。

5、根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動、電動的引弧等），真空測量可選擇數(shù)字式智能真空計及其的測量規(guī)管，及其它測量儀器，如自動壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量儀，透過率計等。

6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 針閥及相應(yīng)的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。

7、根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測量。

8、根據(jù)設(shè)備使用特點，可選擇手動、半自動、全自動或其組合的控制方式。

9、完善的報警系統(tǒng)，對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過壓、過流等異常情況進行聲光報警。

真空鍍膜機的陰極電弧技術(shù)

真空鍍膜機的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電，使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過等離子體的強化作用，飛向陽極基體表面沉積成膜的技術(shù)。正因為如此，陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。

在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面，具有高能量的離子束對于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的，從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。目前，各薄膜設(shè)備制造商通過對成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來減少“液滴”的產(chǎn)生。

其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術(shù)和輻射加熱技術(shù),可進行快速鍍膜生產(chǎn)。利用該工藝制備的TiAlN可增強加工工具切削刃的穩(wěn)定性，并使干切削加工成為可能。

國內(nèi)真空鍍膜機械的發(fā)展

我國鍍膜市場一直在擴大需求，行業(yè)的高速發(fā)展同時也帶動真空設(shè)備行業(yè)的發(fā)展速度。每年我國都需要進口大量的鍍膜真空設(shè)備，這些設(shè)備工藝技術(shù)比較高，可靠性強，價錢也非常之高，不可否認的是這些設(shè)備大大提高了我國部分的鍍膜企業(yè)的生產(chǎn)水平，使之達到發(fā)達國家水平；

國內(nèi)的真空設(shè)備也相對引進先進技術(shù)取得了巨大進步，真空鍍膜設(shè)備已經(jīng)達到較高水準，完全能夠滿足一般企業(yè)的需求，部分實力廠家產(chǎn)品更是銷往，譬如匯成真空。

整個鍍膜行業(yè)被物理和化學(xué)鍍膜占據(jù)，他們的發(fā)展左右著我國整個鍍膜行業(yè)的發(fā)展，而隨著環(huán)保的提倡，化學(xué)鍍膜漸漸減少，環(huán)保物理鍍膜占據(jù)更多江山，鍍膜真空設(shè)備成為了這個行業(yè)發(fā)展的指標，政策對環(huán)保設(shè)備的大力支持未來真空設(shè)備的發(fā)展將更加廣闊。