合肥潔凈室凈化工程-合肥卓潞|工程設(shè)計(jì)

1級：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí)，就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí)，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級潔凈度的要求。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。現(xiàn)在我們國家的凈化工程已經(jīng)在朝著節(jié)能的方向發(fā)展了，除了人士以外，其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大，時(shí)候普通寫字樓的20倍，比美國更發(fā)達(dá)國家高出了15%?？吹竭@些令人心驚的數(shù)字，我們國家的科學(xué)家們從節(jié)能的角度出發(fā)從根本上出出發(fā)，設(shè)計(jì)出能夠節(jié)省的相關(guān)設(shè)備。

對不同潔凈度等級的潔凈室，產(chǎn)生粉塵和有害氣體的潔凈室，被排介質(zhì)毒性大的、有易1燃易1爆氣體的崗位，應(yīng)單獨(dú)設(shè)局部排風(fēng)系統(tǒng)。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，潔凈室凈化工程，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展，建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來越高，非人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域，凈化工程技術(shù)還會逐漸應(yīng)用于家庭、公共場合，為人們提供更潔凈的生活空間

潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。10級：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級，并且我國半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來對潔凈度的要求更加高。

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