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機(jī)械安裝:真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。安裝原理圖⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),振動(dòng)小。⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑,且要求管路短而少?gòu)濐^。(焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣,嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。)
(4) 擴(kuò)散噴射泵:它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種形式。(5) 離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下,輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
(1)蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。(2)濺射離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上,以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。低溫泵:利用低溫表面捕集氣體的真空泵
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