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如何選擇真空檢漏儀
一.對檢漏方法的一般要求
1.檢漏靈敏度高,可以檢出很小的漏孔;
2.反應(yīng)時間短,可以提高工作效率;
3.能定位、定量,即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置,還能知道漏率的大小,以便確定是否合乎質(zhì)量要求;
4.能無損檢漏,不使被檢設(shè)備受到損傷和污染;
5.穩(wěn)定性好,即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠;
6.所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,無毒,不腐蝕零件;
7.檢漏范圍大,從大漏孔到小漏孔都能檢測到,以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用;
8.檢漏時潔凈無油,滿足一些特殊的要求
二.選擇真空檢漏儀檢漏方法的原則
1.主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合,為找到一個單個漏孔,所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w,而必須選用的檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W;
2.根據(jù)具體被檢對象,所用方法簡便易行,經(jīng)濟(jì)實用。
質(zhì)譜法基本原理
質(zhì)譜,又稱質(zhì)譜法(mass spectrometry,MS),是通過不同的離子化方式,將試樣(原子或分子)轉(zhuǎn)化為運動的氣態(tài)離子,并按照質(zhì)荷比(m/z)大小進(jìn)行分離檢測的分析方法,是一種與光譜并列的譜學(xué)方法。根據(jù)質(zhì)譜圖上峰的位置和相對強度大小,質(zhì)譜可對無機物、有機物和生物大分子進(jìn)行定性和定量分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜,并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機物分析。Thomson JJ于1906年發(fā)明質(zhì)譜,并運用于發(fā)現(xiàn)非性同位素和無機元素分析。20世紀(jì)40年代以后開始用于有機物分析。80年代初期,快原子轟擊電離的應(yīng)用,是質(zhì)譜更好的運用于生物化學(xué)大分子。90年代以來,隨著電噴霧電離和基質(zhì)輔助激光解吸電離的應(yīng)用,已形成生物質(zhì)譜學(xué)一新學(xué)科[1]。目前,質(zhì)譜法已經(jīng)日益廣泛的應(yīng)用于原子能、化學(xué)、電子、冶金、、食品、陶瓷等工業(yè)生產(chǎn)部門,農(nóng)業(yè)科學(xué)研究部門,以及物理、電子與離子物理、同位素地質(zhì)學(xué)、有機化學(xué)等科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域[2]。
質(zhì)譜法基本原理
質(zhì)譜法的基本原理是試樣分子或原子在離子源中發(fā)生電離,生成各種類型帶電粒子或離子,經(jīng)加速電場的作用獲得動能形成離子束;進(jìn)入質(zhì)量分析儀,在其中再利用帶電粒子在電場或磁場中運動軌跡的差異,將不同質(zhì)荷比的離子按空間位置或時間的不同而分離開;然后到達(dá)離子將離子流轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?,得到質(zhì)譜圖。
質(zhì)譜儀基本結(jié)構(gòu),化合物的質(zhì)譜是由質(zhì)譜儀測得的。質(zhì)譜儀是使分析試樣離子化并按質(zhì)荷比大小進(jìn)行分離、檢測和記錄的儀器。一般質(zhì)譜儀由進(jìn)樣系統(tǒng),離子源,質(zhì)量分析儀,離子及信號放大記錄系統(tǒng)組成
氦質(zhì)譜檢漏儀的不同測量方法滿足多種需求
氦質(zhì)譜檢漏儀中氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)的關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。秀長的體積,優(yōu)越的性能,適用于眾多行業(yè)。運用了氦質(zhì)譜和逆擴(kuò)散原理,采用了原裝進(jìn)口分子泵、180°非均勻磁場和全自動控制技術(shù),檢漏儀,實現(xiàn)了自動氦峰掃描、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換,具有檢測速度快、檢測靈敏度高、抗干擾能力強等特點。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。 此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,檢漏儀生產(chǎn)廠家,達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。
氦質(zhì)譜檢漏儀特點:
1.檢測時間和響應(yīng)周期非常短,可以達(dá)到2s以內(nèi);
2.檢測的介質(zhì)比較常用,僅需壓縮空氣即可;
3.多種大漏保護(hù)模式,充分保護(hù)離子源不被氧化和暴漏大氣時分子泵不被沖擊;
4.大漏檢測功能:可通過預(yù)設(shè)壓力,抽空時,達(dá)不到預(yù)設(shè)值,檢漏儀廠家,檢漏儀自動報警提示。
5.多種計量單位選擇,檢測數(shù)據(jù)實時更新,直接輸出生成Excel表格。
企業(yè): 深圳銳誠真空技術(shù)有限公司
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