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潔凈室內(nèi)的架空地板是用來掩蓋工具、設(shè)備與動(dòng)力設(shè)備之間的電線、通訊電纜、水電、管道的連接的。后來,為了節(jié)約成本,在“bay-and-chase”式的潔凈室結(jié)構(gòu)中,十級(jí)防爆凈化工程設(shè)計(jì),這些架空地板被當(dāng)作從港灣到夾層的回內(nèi)通道。在完全單向氣流的潔凈室內(nèi),人們希望微粒從工作區(qū)域流到帶小孔的地板下。我們已經(jīng)成功的建立了10級(jí)和100級(jí)的潔凈室,在這些潔凈室內(nèi)沒有架空地板,采用墻下部回風(fēng)系統(tǒng),而且潔凈室的氣流被設(shè)計(jì)成紊流。另個(gè)一種辦法是用薄的空氣噴射裝置隔離超清潔區(qū)域,這種空氣噴射的速度是每分鐘500到800英尺。它的功能類似于塑料門簾。
房間內(nèi)污染物的比率和實(shí)際微粒產(chǎn)生情況,是影響潔凈室空氣換氣次數(shù)的主要因素。在生產(chǎn)過程中,不對(duì)其他因素產(chǎn)生任何影響的情況下,清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環(huán)空氣數(shù)量的因素是:房間的結(jié)構(gòu)、設(shè)備的位置、設(shè)備表面溫度、空氣對(duì)流、氣流類型(單向通過敏感區(qū)或者通過全空間)、操作空間和規(guī)章、使用的材料和化學(xué)藥品等。
潔凈車間可能需要在靜態(tài)下進(jìn)行鑒定,在工況下進(jìn)行鑒定,陵城十級(jí)防爆凈化工程,對(duì)生產(chǎn)過程進(jìn)行確認(rèn)或者cGMP認(rèn)證。由綜合服務(wù)管理部制定的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209(e),建議100或90fpm。然而有可能建立一個(gè)空氣流動(dòng)速度較低,但比100級(jí)潔凈度更高的潔凈室。實(shí)際上,已經(jīng)有潔凈室的空氣流動(dòng)速度是45cfm/平方英尺。
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。
非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,十級(jí)防爆凈化工程施工,稀釋效果越顯著,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。
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