掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發(fā)各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達到1nm;放大倍數(shù)可以達到30萬倍及以上連續(xù)可調;并且景深大,視野大,成像立體效果好。此外,掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結合,可以做到觀察微觀形貌的同時進行物質微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應用。因此掃描電子顯微鏡在科學研究領域具有重大作用。
掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀,但由于其本身具有許多的優(yōu)點,發(fā)展速度是很快的。
1 儀器分辨率較高,植物氣孔掃描電鏡檢測技術服務,通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節(jié),采用LaB6電子,可以進一步提高到3nm。
2 儀器放大倍數(shù)變化范圍大,且能連續(xù)可調。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進行觀察,同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。
作用 進行初步成像放大,改變物鏡的工作電流,可以起到調節(jié)焦距的作用。電鏡操作面板上粗、細調焦旋扭,即為改變物鏡工作電流之用。為滿足物鏡的前述要求,不僅要將樣品臺設計在物鏡內(nèi)部,以縮短物鏡焦距;還要配置良好的冷卻水管,以降低物鏡電流的熱飄移;此外,還裝有提高成像反差的可調活動光闌,及其要達到高分辨率的消像散器。對于的電子顯微鏡,都通過物鏡裝有以液氮為媒質的防污染冷阱,給樣品降溫。
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