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設(shè)備開箱驗(yàn)收(或設(shè)備安裝移交驗(yàn)收單),手動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)生產(chǎn)廠家,由設(shè)備管理部門納入設(shè)備檔案管理;隨設(shè)備的配件、備品,應(yīng)填寫備件入庫單,送交設(shè)備倉庫入庫保管。安全管理部門應(yīng)就安裝試驗(yàn)中的安全問題進(jìn)行建檔。設(shè)備移交完畢,由設(shè)備管理部門簽署設(shè)備投產(chǎn)通知書,并將副本分別交設(shè)備管理部門、使用單位、財(cái)務(wù)部門、生產(chǎn)管理部門,作為存檔、通知開始使用、考核工程計(jì)劃的依據(jù)。
單工位旋轉(zhuǎn)噴淋清洗機(jī)
該設(shè)備適用于各類工件的外表面清洗,如波峰焊治具的清洗,回流焊冷凝器的清洗,機(jī)器零部件表面油污清洗等,綜合運(yùn)用高壓噴淋清洗,高壓噴淋漂洗,高壓風(fēng)切以及熱風(fēng)烘干等技術(shù),保證了清洗效果。
設(shè)備特點(diǎn):
●一鍵式操作,整個(gè)清洗過程全自動(dòng)完成,無需人工干預(yù);
●設(shè)備具有清洗、漂洗、烘干全功能;
●清洗后治具表面干燥,潔凈度高,濱州單工位噴淋清洗機(jī)生產(chǎn)廠家,可直接用于后段工藝使用,較手工清洗效果有大幅提高;
●噴淋壓力可調(diào),720度噴淋,清洗無死角;
●設(shè)備具有清洗漂洗液體實(shí)時(shí)循環(huán)過濾系統(tǒng),大大提高了液體利用效率;
●清洗批量大,全自動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)生產(chǎn)廠家,可大量節(jié)省人工;
●設(shè)備能耗低,運(yùn)行噪音小,無污染,環(huán)境友好;
●配合水基清洗劑使用,液體消耗量小,運(yùn)行成本低。
此方法適用于除去氧化膜或有機(jī)物。因?yàn)榛瘜W(xué)物質(zhì)在硅片表面停留的時(shí)間比較短,對(duì)反應(yīng)需要一定時(shí)間的清洗效果不好。在噴洗過程中所使用的化學(xué)試劑很少,對(duì)控制成本及環(huán)境保護(hù)有利。
隨著集成電路制程工藝節(jié)點(diǎn)越來越,全自動(dòng)單工位噴淋清洗機(jī)生產(chǎn)廠家,對(duì)實(shí)際制造的幾個(gè)環(huán)節(jié)也提出了新要求,清洗環(huán)節(jié)的重要性日益凸顯。
清洗的關(guān)鍵性則是由于隨著特征尺寸的不斷縮小,半導(dǎo)體對(duì)雜質(zhì)含量越來越敏感,而半導(dǎo)體制造中不可避免會(huì)引入一些顆粒、有機(jī)物、金屬和氧化物等污染物。為了減少雜質(zhì)對(duì)芯片良率的影響,實(shí)際生產(chǎn)中不僅僅需要提高單次的清洗效率,還需要在幾乎所有制程前后都頻繁的進(jìn)行清洗,清洗步驟約占整體步驟的33%。
企業(yè): 山東亞世特工業(yè)清洗設(shè)備有限公司
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