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選擇氣體質(zhì)量流量控制器和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意什么?
(1) 注意選擇正確的品牌
一般應(yīng)當(dāng)衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑銷售價(jià)格﹑售后服務(wù)﹑技術(shù)水平﹑產(chǎn)品特點(diǎn)﹑生產(chǎn)規(guī)模﹑企業(yè)信譽(yù)等因素。
(2) 注意選擇正確的工作壓力指標(biāo)
不同的產(chǎn)品工作壓力指標(biāo)可能不同,注意選擇適合自己的產(chǎn)品。質(zhì)量流量控制器(MFC)除耐壓之外,數(shù)字流量控制器報(bào)價(jià),還有另一項(xiàng)工作壓力指標(biāo):工作壓差,即MFC進(jìn)氣端和出氣端之間的壓差,選型時(shí)要注意,使用時(shí)也要注意。
(3) 注意選擇合適氣體、流量規(guī)格、精度和接頭形式和接口尺寸。
除了氣體種類,流量范圍外準(zhǔn)確度和接頭形式也很重要,常見(jiàn)的接頭形式有卡套接頭和VCR接頭,數(shù)字流量控制器,接口尺寸有公制Φ3、Φ6、Φ10;英制1/8、1/4、1/2英寸的和法蘭接頭。具體接口尺寸需要根據(jù)流量范圍來(lái)定制。
氣體質(zhì)量流量控制器應(yīng)用領(lǐng)域
氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密的測(cè)量和控制。其廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路工藝、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)并在其中起著重要的作用。典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括微電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細(xì)管測(cè)量、氣象色譜儀及其他分析儀器。
如何通過(guò)質(zhì)量流量控制器判斷沒(méi)有氣體通過(guò)?
質(zhì)量流量控制器(MFC)是用來(lái)控制氣體流量的,質(zhì)量流量計(jì)(MFM)是用來(lái)測(cè)量氣體流量,如果你需要檢測(cè)氣體流量需要用MFM。 當(dāng)然MFC還是有檢測(cè)方法的,如果通過(guò)氣體流量比較大,壓比較大,數(shù)字流量控制器哪家好,可以為MFC設(shè)定一個(gè)大流量,數(shù)字流量控制器公司,MFC會(huì)反饋一個(gè)值,這個(gè)值就是氣體的流量。 如果流量比較小,壓力比較小MFC就不能測(cè)出來(lái)了,因?yàn)镸FC壓損通常是比較大的,如果氣體流量比較小,壓力比較小就沒(méi)辦法測(cè)量了,就需要抵壓損的MFM。
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