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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進(jìn)或流出這個空間。如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,板式換熱器氦測漏系統(tǒng),或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),高壓柜氦測漏系統(tǒng),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/p>
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備,在投入使用前,就要行檢漏,使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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氫氣檢漏
油霧法
油霧法的測試塵源為油霧,“量”為含油霧空氣的濁度,以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。
德國規(guī)定使用石蠟油,油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測過濾器時,容易對過濾器造成損傷,且不能直接讀值,浪費(fèi)時間。
DOP法
這種方法曾經(jīng)是國際上測試過濾器海綿常用的方法。
它的測試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴,也稱為“熱DOP”,“量”為含DOP空氣的渾濁程度。
將DOP液體加熱成蒸汽,蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴,去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒,包膜式氦測漏系統(tǒng),進(jìn)入風(fēng)道,通過測量過濾器前后氣樣的濁度,并由此判斷過濾器對0.3微米粉塵的過濾效率。
氫氣檢測儀在氫氣泄漏檢測中的應(yīng)用
工業(yè)用途氫是主要的工業(yè)原料,也是的工業(yè)氣體和特種氣體,在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。同時,氫也是一種理想的二次能源( 二次能源是指必須由一種初級能源如太陽能、煤炭等來制取的能源)。另外,氦測漏系統(tǒng),氫氣還可用作合成氨、合成、合成鹽酸的原料,冶金用還原劑,石油煉制中加氫脫硫劑等
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