阿爾卡特渦輪分子真空泵保養(yǎng)維修-廣州潽拓光電公司

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 分子泵養(yǎng)護(hù)

半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜，需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護(hù) 

羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護(hù)

轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再?gòu)牧硪欢伺懦?。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修養(yǎng)護(hù)，還潤(rùn)滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時(shí)，羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度，同時(shí)還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時(shí)，則間隙越大，這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻，溫度比殼體低，負(fù)荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會(huì)增大。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵維修維護(hù)

真空泵在使用過程中，zui常出現(xiàn)的問題有：1、真空不足----旋片損壞，缸體磨損，轉(zhuǎn)子與缸體切點(diǎn)間隙變異，更換旋片，修復(fù)缸體，調(diào)整相應(yīng)間隙2、流量不足----管道不通暢，泵浦沉積油垢，雜物，阿爾卡特渦輪分子真空泵保養(yǎng)維修，電壓降低清理輸送管道，清潔泵浦，調(diào)整電壓3、功率過大----超過額定流量使用，吸程過高，泵軸承磨損，阿爾卡特渦輪分子真空泵維修保養(yǎng)，調(diào)節(jié)流量關(guān)小出口閥門，降低吸程，更換軸承。真空泵維修維護(hù)

真空泵高溫解決方案

　　電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動(dòng)平衡不容易找，揭陽阿爾卡特渦輪分子真空泵，如找正不好，會(huì)引起電機(jī)振動(dòng)增加。真空泵維修維護(hù)

　　(1)將原真空泵風(fēng)扇罩加長(zhǎng)40cm，在里面加裝一個(gè)與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻。真空泵維修維護(hù)

　　(2)定期清除真空泵電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力。

　　(3)將真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。

真空泵可單獨(dú)使用，也可用為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級(jí)泵、維持泵、鈦泵的預(yù)抽泵用。可用于電真空容器制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷設(shè)備維修及儀器儀表設(shè)備配套和實(shí)驗(yàn)室等。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 化工泵維修

磁懸浮分子泵是利用磁力作用將轉(zhuǎn)子懸浮于空中使轉(zhuǎn)子和定子無接觸運(yùn)轉(zhuǎn)。

其特點(diǎn)如下：

（1）不用任何潤(rùn)滑油，可實(shí)現(xiàn)完全無油化。

（2)由于轉(zhuǎn)子與定子之間沒有機(jī)械接觸，軸承的壽命非常長(zhǎng)。

（3）與傳統(tǒng)軸承相比，轉(zhuǎn)子可運(yùn)行到很高的轉(zhuǎn)速。

（4）　振動(dòng)與噪聲很低。化工泵維修

（5）　泵的安裝姿態(tài)不受限制，可任意角度安裝。

（6）轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形

（7）自平衡技術(shù)振動(dòng)ji小

相比普通分子泵，它的軸承不需要潤(rùn)滑，所以可以排除油污染。

脂潤(rùn)滑分子泵特點(diǎn)：軸承用油脂潤(rùn)滑。

通常情況下有效粘度低，蒸汽壓極低的軸承用油脂，使渦輪分子泵避免了在抽氣時(shí)或放大氣時(shí)都要小心，尤其當(dāng)轉(zhuǎn)子在高速工作時(shí)以免高速流動(dòng)的油進(jìn)到入口處。

蒸汽的影響：咱們所用的真空泵為蒸汽噴發(fā)真空泵，是以過飽滿水蒸汽為作業(yè)介質(zhì)的，蒸汽的狀況對(duì)泵的功能有決定性的影響。濕蒸汽不只影響泵的功能，還會(huì)腐蝕蒸汽噴唬，添加泵的蒸汽用量，使泵的作業(yè)狀況變得不穩(wěn)定；

廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 化工泵維修

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