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?高純氣體管道的組成
高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵 ,包括系統(tǒng)的設(shè)計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。半導(dǎo)體技術(shù)是 20 世紀以來偉大的也是具有生命活力的技術(shù),半導(dǎo)體制造技術(shù)是貫穿高純氣體的提供、原料硅的提煉 、晶圓的制造 、IC 的封裝和測試的整個過程。反映當今世界高科技水平的微電子產(chǎn)品,正以、低成本為目標,高速地向高密度、高集成發(fā)展,對氣體雜質(zhì)含量限制更加嚴格 ,相應(yīng) 的高純、高潔凈氣體及其管路的輸配?氣使用注意事項
氣使用注意事項,1、氣應(yīng)儲存在通風(fēng)、干燥、陰涼的庫房里,遠離熱源和火種,避免陽光直曬,而且氣瓶要有防倒措施。2、氣瓶裝氣體為高壓充裝氣體,使用時應(yīng)經(jīng)過減壓后方可使用。3、氣有使用年限,要在使用年限內(nèi)使用,快到期的氣必須送到相關(guān)部門進行安全檢驗,合格后才能繼續(xù)使用。4、氣使用到尾氣時,應(yīng)保持瓶內(nèi)余壓0.5MPa,余壓不能低于0.25MPa,而且應(yīng)關(guān)閉瓶閥,保證氣體質(zhì)量和使用安全。5、氣在儲存、運輸、使用時應(yīng)該分類擺放,不能把可燃氣體與助燃氣體放置在一起,而且還應(yīng)配備泄露應(yīng)急處理設(shè)備。