武漢豐派等離子可量尺定做「豐熱科技」

湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴(kuò)散，從而達(dá)到滲氮的目的。

輝光離子氮化是指利用輝光放電現(xiàn)象使工件表面滲入氮原子的熱處理方法。采用的輝光離子氮化爐，以工件為陰極，爐體為陽極，當(dāng)爐內(nèi)真空度抽至(1~0.1Pa)后通入氨氣，使真空室內(nèi)壓力約為66.65~1333.2Pa。

在運(yùn)行的射頻輝光放電等離子體中，由于離子和電子遷移率的不同將導(dǎo)致陰極負(fù)偏壓的形成，在陰極表面建立一個(gè)直流負(fù)偏壓是進(jìn)行射頻濺射工藝的必要條件。兩個(gè)面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負(fù)偏壓，不可能產(chǎn)生濺射。