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對于平行流潔凈室《習慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。過去都參考美國20gB標準,采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風速的可行性。在我國,《空氣潔凈技術措施》和(潔凈廠房設計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
潔凈室凈化工程設計應確保安全生產和滿足環(huán)境保護的要求。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。潔凈室凈化工程的稍置和各項設施的設計均必須符合消防、防火的要求,應按國家的有關標準、規(guī)范進行設計,由于潔凈室凈化工程內的平面和空間扣置持殊、走道曲折等特點,在進行各項技術設施的系統設計、設備配置和材質選樣時,加特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統、沒備和材質。
凈化實驗室 -如何選購凈化設備 1、針對濾材:好的過濾材料(目前世界公認的HEPA高密度濾材)吸附0.3微米以上污染物的能力高達99.9%以上;如果室內污染較重,可選擇除塵效果較佳的空氣凈化器。(2)潔凈管道(CleanTube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。2、關于凈化效率:房間較大,應選擇單位凈化風量大的空氣凈化器;例如15平方米的房間應選擇單位凈化風量在120立方米/小時的空氣凈化器;3、使用壽命:隨著凈化過濾膽趨于飽和,凈化器的吸附能力將下降,所以消費者應該選擇具有再生功能的凈化過濾膽(含活性催化碳),以延長其壽命。