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微孔加工。但是，電火花加工的速度極低，加工的成本比較高，用于加工小孔的電極銅工的電子束功率密度高，可加工高硬度、高強度、高韌性、高脆性、高熔點的金屬材料和非金屬材料，加工使用的功率密度大約為109W/cm2，能量可集聚成φ1μm以下的光斑，故可加工數(shù)微米的孔，孔的加工效率很高，這主要取決于被加工件的移動速度。能實現(xiàn)通過磁場或電場對電子束的強度、位置進(jìn)行直接控制，便于實行自動化加工，主要用于園孔加工，也可用于加工異形孔、錐孔、窄縫等。該種工藝方法屬于非接觸加工，因此工件本身不受機械力作用，不產(chǎn)生宏觀應(yīng)力和變形。在真空狀態(tài)下進(jìn)行，特別適合于加工易氧化的材料或純度要求高的單晶體、半導(dǎo)體等材料。

常規(guī)的或者是大家可以想象到的微孔加工的工藝有：沖壓加工，沖壓加工主要是針對孔徑在1.0mm以上，材料厚度在0.5mm以下的產(chǎn)品，并且主要針對孔數(shù)比較少的工件，因為密集型的工件沖壓模具是無法完成的。數(shù)控沖，數(shù)控沖是近幾年比較流行的工藝，數(shù)控沖具有、成本低的優(yōu)勢，數(shù)控沖是需要更換相應(yīng)的沖頭即可操作，不需要模具。數(shù)控沖主要針對的是大孔徑和低密度的工件，對于0.5mm以下的孔徑工件數(shù)控沖基本就沒有任何優(yōu)勢了。

微孔加工的測量方法有哪些？

對于孔深小于1mm的通孔，可以借助放大鏡比較粗略地觀察該孔內(nèi)壁的粗糙度。本研究采用反射式顯微鏡直接觀察孔口內(nèi)表面情況，作為實測粗糙度試驗的對照。對于孔深達(dá)4mm的微小孔內(nèi)壁粗糙度，顯然無法用此方法準(zhǔn)確測量。由于所測量的微小孔孔徑較小，可控光源無法準(zhǔn)確地深入孔內(nèi)，故無法用光干涉原理的方法測量。若采用直接接觸式測量方法，雖然探頭直徑比微小孔內(nèi)徑小，但與其連接的后續(xù)部分太大，使得探頭無法深入微小孔內(nèi)部進(jìn)行直接測量。因此，筆者對微小孔采用剖分法，并用錐度為60°的輪廓儀對剖分后外露的微小孔內(nèi)表面進(jìn)行直接測量，以取得準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

不銹鋼微孔加工的原理為：液體在一定的壓力下流入微孔內(nèi)，固體雜質(zhì)被微孔內(nèi)的過濾雜質(zhì)滯留，過濾后的液體由出口流出。當(dāng)過濾到一定階段時，因雜質(zhì)的堆積，進(jìn)出口壓差增大，濾芯需求進(jìn)行反沖洗，這時將反沖洗閥門翻開，液壓由反沖洗進(jìn)水口自下而下流入沖洗，微孔恢復(fù)過濾功能。濾芯可改換元件，當(dāng)微孔運轉(zhuǎn)到一定時期后，將濾芯拆下，改換新的濾芯，以確保在過濾的精度和效率。